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5，工藝設計5、1 一般規(guī)定5,1、1.三氯氫硅氫還原法多晶硅生產(chǎn)工藝主要由還原 提純 干法回收和三氯氫硅生產(chǎn)四大主工藝系統(tǒng)組成。工藝流程見圖1,圖1.三氯氫硅氫還原生產(chǎn)工藝流程簡圖。多晶硅行業(yè)近年來發(fā)展迅速,其生產(chǎn)工藝和設備裝備水平較以前均有大幅度提升，每個主工藝都有幾種工藝方案選擇，為提高建設質(zhì)量以及整個行業(yè)的技術水平,本條對工藝流程的設計和工藝設備的選型進行了規(guī)定.1。多晶硅工廠主要的能源消耗是電力和蒸汽 由此產(chǎn)生的成本超過了多晶硅成本的一半。不同的產(chǎn)品方案決定了不同的精餾提純流程和工藝。不同的建設規(guī)模和能源價格決定了不同的氫化工藝 不同的建設規(guī)模,能源價格和投資資金決定了還原爐等主要設備選型的經(jīng)濟性、2，3，國家大力提倡循環(huán)經(jīng)濟發(fā)展模式，以建設資源節(jié)約型.環(huán)境友好型的美麗社會為目標 因此工廠建設中應做到安全可靠、環(huán)保節(jié)能、技術先進,經(jīng)濟合理。5.多晶硅生產(chǎn)是個較為復雜的系統(tǒng)工程.每個主工序的生產(chǎn)特點均有不同 如還原過程的一次轉化率低。只有10.左右、大量三氯氫硅和副產(chǎn)物以尾氣的形式進入干法回收系統(tǒng)、干法回收應具備吸納不同氣量。不同組分還原尾氣的能力,各個主工序之間生產(chǎn)能力應有合理匹配和綜合平衡，5。1,5.現(xiàn)行國家標準、多晶硅企業(yè)單位產(chǎn)品能源消耗限額.GB 29447中對多晶硅各生產(chǎn)單元的工藝電耗 蒸汽消耗 綜合電耗以及綜合能耗分別給出了限定值.準入值。先進值的要求。新建項目至少達到限額準入值標準 本條規(guī)定各生產(chǎn)單元的蒸汽.電力及綜合能耗不大于限額準入值、并達到先進值。目的是節(jié)約資源能源、5，1。8，多晶硅生產(chǎn)過程伴有氫氣,三氯氫硅，二氯二氫硅。四氯化硅.氯化氫等危險化學品,對于輸送易燃，易爆、有毒.有腐蝕性物料的設備和管道應考慮其使用的安全性 防止泄漏,