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2 術(shù)。語2，0、1，潔凈室 clean、room空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入 產(chǎn)生及滯留粒子.室內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度。濕度，壓力等按要求進(jìn)行控制.2，0.2.潔凈區(qū)、clean,zone空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間.它的建造和使用應(yīng)減少空間內(nèi)誘入。產(chǎn)生及滯留粒子、空間內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度,濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制,可以是開放式或封閉式。2、0,3,人員凈化用室,room.for cleaning、human body人員在進(jìn)入潔凈室、區(qū),之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間。2，0.4。物料凈化用室、room,for,cleaning，material物料在進(jìn)入潔凈室、區(qū).之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間、2。0。5.粒徑。partical.size由給定的粒子尺寸測定儀響應(yīng)當(dāng)量于被測粒子等效的球體直徑 對(duì)離散粒子計(jì)數(shù) 光散射儀器采用當(dāng)量光學(xué)直徑.2，0、6.懸浮粒子。airborne.particles用于空氣潔凈度分級(jí)的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0、1 5μm的固體和液體粒子.2,0。7.含塵濃度，particle.concentration單位體積空氣中懸浮粒子的顆數(shù)、2，0，8,潔凈度。cleanliness以單位體積空氣某粒徑粒子的數(shù)量來區(qū)分的潔凈程度、2 0。9、空態(tài)、as built設(shè)施已經(jīng)建成.所有動(dòng)力接通并運(yùn)行，但無生產(chǎn)設(shè)備，材料及人員 2，0、10,靜態(tài),at rest設(shè)施已經(jīng)建成，生產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)安裝。并按業(yè)主及供應(yīng)商同意的狀態(tài)運(yùn)行。但無生產(chǎn)人員.2,0 11，動(dòng)態(tài)、operational設(shè)施以規(guī)定的狀態(tài)運(yùn)行，有規(guī)定的人員在場 并在商定的狀況下進(jìn)行工作,2,0,12。氣流流型，air、pattern室內(nèi)空氣的流動(dòng)形態(tài)和分布,2,0。13,單向流,unidirectional，airflow沿單一方向呈平行流線并且橫斷面上風(fēng)速一致的氣流、包括垂直單向流和水平單向流 2.0、14。非單向流。non,unidirectional。airflow凡不符合單向流定義的氣流，2。0，15，混合流,mixed.airflow單向流和非單向流組合的氣流,2、0,16。潔凈工作區(qū)。clean,working、area指潔凈室內(nèi)離地面高度0、8.1、5m，除工藝特殊要求外。的區(qū)域,2,0。17.空氣吹淋室、airshower利用高速潔凈氣流吹落并清除進(jìn)入潔凈室人員或物料表面附著粒子的小室,2、0,18，氣閘室。airlock設(shè)置在潔凈室出入口 阻隔室外或相鄰房間的污染氣流和壓差控制而設(shè)置的緩沖間，2、0。19、傳遞窗。passbox在潔凈室隔墻上設(shè)置的傳遞物料和工器具的開口.兩側(cè)窗扇的開啟應(yīng)進(jìn)行聯(lián)鎖控制、2.0、20,潔凈工作服、clean.working，garment為把工作人員產(chǎn)生的粒子限制在最低程度所使用的發(fā)塵量少的潔凈服裝,2,0、21 高效空氣過濾器.HEPA,high，efficiency、particulate。air filter在額定風(fēng)量下,最易穿透粒徑法的效率在99 95 以上及氣流初阻力在220Pa以下的空氣過濾器、2.0，22、超高效空氣過濾器,ULPA,ultra、low、penetration.air.filter在額定風(fēng)量下,最易穿透粒徑法的效率在99。9995.以上及氣流初阻力在250Pa以下的空氣過濾器,2、0。23、微環(huán)境。minienvironment將產(chǎn)品生產(chǎn)過程與操作人員。污染物進(jìn)行嚴(yán)格分隔的隔離空間.2 0.24、風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組。fan、filter，unit，F(xiàn)FU 由HEPA或ULPA與風(fēng)機(jī)組合在一起。構(gòu)成自身可提供動(dòng)力的末端空氣凈化的裝置,2、0,25 自凈時(shí)間，cleanliness recovery。characteristic潔凈室被污染后。凈化空調(diào)系統(tǒng)開始運(yùn)行至恢復(fù)到穩(wěn)定的規(guī)定室內(nèi)潔凈度等級(jí)的時(shí)間 2 0、26、技術(shù)夾層.technical，mezzanine潔凈廠房中以水平構(gòu)件分隔構(gòu)成的空間，用于安裝輔助設(shè)備和公用動(dòng)力設(shè)施以及管線等、2、0 27 技術(shù)夾道.technical.tunnel潔凈廠房中以垂直構(gòu)件分隔構(gòu)成的廊道，用于安裝輔助設(shè)備和公用動(dòng)力設(shè)施以及管線等、2、0，28 技術(shù)豎井,technical shaft潔凈廠房中主要以垂直構(gòu)件分隔構(gòu)成的井式管廊,用于安裝輔助設(shè)備和公用動(dòng)力設(shè)施以及管線等 2.0.29 專用消防口.fire.firing、access消防人員為滅火而進(jìn)入建筑物的專用入口 平時(shí)封閉，使用時(shí)由消防人員從室外打開,2。0.30 純水、pure。water雜質(zhì)含量很少的水.其電解質(zhì)雜質(zhì)含量、常以電阻率表征，和非電解質(zhì)雜質(zhì),如微粒。有機(jī)物.細(xì)菌和溶解氣體等,含量均要求很少的水.2.0，31.常用氣體.bulk,gas電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中。廣泛使用的氫氣，氧氣.氮?dú)狻鍤?。氦氣等氣體,2,0。32。特種氣體 special gas電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中 使用的硅烷.磷烷、乙硼烷。砷烷、四氯化硅.氯氣等氣體 這些氣體具有可燃、有毒.腐蝕或窒息等特性，2。0.33，化學(xué)品,chemical指電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中使用的酸.堿.有機(jī)溶劑和氧化物等、2,0 34，防靜電環(huán)境,ESD controlled、environment具有防止靜電危害的特定環(huán)境.在此環(huán)境中不易產(chǎn)生靜電或靜電產(chǎn)生后易于泄放或消除 靜電噪聲難以傳播.2.0。35 表面電阻、surface,resistance在材料的表面上兩電極間所加直流電壓與流過兩極間的穩(wěn)態(tài)電流之商，