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10，2.常用氣體系統(tǒng)10。2 1。常用氣體供應系統(tǒng)宜在工廠內(nèi)或鄰近處設置制氣裝置或采用外購液態(tài)氣體、瓶裝氣體,10.2.2，氫氣 氧氣管道的終端或最高點應設置放散管 氫氣放散管口應設置阻火器，放散管引至室外.應高出本建筑的屋脊1m,并應采取防雨，防雜物侵入的措施.10.2、3.氣體純化裝置的設置、應符合下列要求 1,氣體純化裝置應根據(jù)氣源和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對氣體純度.容許雜質(zhì)含量要求選擇、2,氣體純化裝置宜設置在氣體純化間,站。內(nèi) 當潔凈廠房設有氣體入口室時 氣體純化間宜與氣體入口室合建.3，各類氣體純化裝置宜設置在同一氣體純化間.站，內(nèi)。若有特殊要求時,也可根據(jù)具體要求分別設置在各自的氣體純化間內(nèi)、4，氣體終端純化裝置宜設置在鄰近用氣點處 10。2.4,進入潔凈廠房的氣體管道控制閥門 氣體過濾器 調(diào)壓裝置,壓力表,流量計 在線分析儀等,宜集中設置在氣體入口室.10.2，5。氣體純化間。站、或氣體入口室內(nèi),設有氫氣等可燃氣體純化裝置或管道時.氣體純化間，站.或氣體入口室的火災危險性應按甲類確定,并應符合下列規(guī)定,1.應靠外墻設置 并應設置防爆泄壓設施、2、氫氣等可燃氣體引入管道上應設置自動切斷閥、3.應具有良好的自然通風。并應設置事故排風裝置,4，應設置氣體泄漏報警裝置 并應與事故排風裝置聯(lián)鎖、5,應設置導除靜電的接地設施.10.2,6.潔凈廠房內(nèi)的氧氣管道等 應采取下列安全技術措施,1.管道及閥門、附件應經(jīng)嚴格的脫脂處理,2 應設置導除靜電的接地設施、3。氧氣引入管道上應設置自動切斷閥，10，2,7 各種常用氣體的氣瓶庫應集中設置在潔凈廠房外。當日用氣量不超過1瓶時.氣瓶可設置在潔凈室.區(qū),內(nèi)。但應采取不積塵和易于清潔的措施、10.2.8，氣體管道和閥門應根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求選擇。宜符合下列規(guī)定。1，氣體純度大于或等于99、999999 時.應采用內(nèi)壁電拋光的低碳不銹鋼管.閥門應采用隔膜閥 2，氣體純度大于或等于99.999、露點低于.76.時.宜采用內(nèi)壁電拋光的低碳不銹鋼管或內(nèi)壁電拋光的不銹鋼管。閥門宜采用隔膜閥或波紋管閥 3，氣體純度大于或等于99 99.露點低于。60，時。宜采用內(nèi)壁拋光的不銹鋼管，除可燃氣體管道宜采用波紋管閥外.其余氣體管道宜采用球閥，4、氣體管道閥門、附件的材質(zhì)宜與相連接的管道材質(zhì)一致，10.2、9、氣體管道連接 應符合下列規(guī)定，1,管道連接應采用焊接、2 不銹鋼管應采用氬弧焊,宜采用自動氬弧焊或等離子熔融對接焊 3,管道與設備或閥門的連接，宜采用表面密封的接頭或雙卡套,接頭或雙卡套的密封材料宜采用金屬墊或聚四氟乙烯墊，4 管道與設備的連接應符合設備連接的要求、當采用軟管連接時。宜采用金屬軟管，