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10 4,特種氣體系統(tǒng)10.4,1.由于電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝所使用的特種氣體是品種多,單一品種數(shù)量少。所以均為外購供應(yīng)、一般采用鋼瓶包裝、運輸.儲存或少量采用槽車運輸。在鋼瓶.儲罐.內(nèi)的狀態(tài)有氣體及液體，根據(jù)生產(chǎn)工藝所使用的特種氣體物化性質(zhì)、耗量.品質(zhì)要求。在電子工廠內(nèi)應(yīng)合理設(shè)置儲存。分配系統(tǒng).10,4，2，本條規(guī)定的特種氣體儲存分配間是指電子工業(yè)潔凈廠房中設(shè)置特氣柜的專用房間，該特氣柜間屬于潔凈廠房中的生產(chǎn)輔助房間。通常設(shè)在靠外墻的邊跨中，有時為了平面布局的需要也可設(shè)在其他場所。該特氣間生產(chǎn)危險性類別的劃分應(yīng)根據(jù)放置的特氣種類確定，而電子工業(yè)潔凈廠房中的特氣間常常設(shè)有可燃性,毒性。氧化性特種氣體,所以應(yīng)按甲，乙類生產(chǎn)類別進(jìn)行設(shè)計、參照現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)、建筑設(shè)計防火規(guī)范。GB.50016、2006中的相關(guān)規(guī)定、在甲.乙，丙類廠房內(nèi),布置有不同類別火災(zāi)危險性的房間的隔墻應(yīng)采用耐火極限不低于2，0h的不燃燒體。隔墻上的門窗應(yīng)為甲級防火門窗 并根據(jù)多年的工程實踐 制定本條規(guī)定 并為強制性條文.10、4,3,可燃或有毒的特種氣體具有對安全生產(chǎn),人員健康極大的危害，因此本條的第1。3款對其分配系統(tǒng)的設(shè)置作了強制性規(guī)定，1，特種氣體鋼瓶及其分配系統(tǒng)應(yīng)設(shè)在具有連續(xù)機械排風(fēng)的特氣柜中、該特氣柜應(yīng)配有氣體泄漏檢測報警系統(tǒng)，手動或自動切換系統(tǒng).自動切斷輸送氣體及自動吹掃的設(shè)施。氣體泄漏檢測報警系統(tǒng)應(yīng)與事故機械排風(fēng)機聯(lián)鎖、該特氣柜設(shè)排風(fēng)裝置，并應(yīng)排入相應(yīng)的生產(chǎn)廢氣處理系統(tǒng).經(jīng)集中處理達(dá)標(biāo)后,方能排放至大氣.對儲存高危害性特種氣體的鋼瓶柜應(yīng)配置就地廢氣處理裝置、經(jīng)集中處理達(dá)標(biāo)后。才能排入上述相應(yīng)的生產(chǎn)廢氣處理系統(tǒng).2 為確保連續(xù)不中斷運行。分配系統(tǒng)所設(shè)置的自控系統(tǒng)、報警系統(tǒng)及與之所聯(lián)鎖的事故排風(fēng)機的電源,均應(yīng)設(shè)應(yīng)急電源、3、特種氣體系統(tǒng)的閥門 附件及連接件都應(yīng)設(shè)在多路閥門箱，盤.VMB或VMP,內(nèi).該閥門箱，盤均設(shè)機械排風(fēng)裝置。氣體泄漏檢測及聲光報警系統(tǒng) 并能在事故發(fā)生時及時切斷氣體供應(yīng)和啟動所聯(lián)鎖的事故排風(fēng)機，排入相應(yīng)的生產(chǎn)廢氣處理系統(tǒng)，10 4,4.特種氣體分配系統(tǒng)中。具有危害性的特種氣體鋼瓶氣源應(yīng)配備吹掃盤。為此本條作了相應(yīng)規(guī)定，1.現(xiàn)將美國消防協(xié)會發(fā)布的NFPA,318,潔凈室消防標(biāo)準(zhǔn).第6、3節(jié)有關(guān)特種氣體吹掃盤的相關(guān)規(guī)定摘要如下,1.所有危險的壓縮工藝氣體鋼瓶在使用時。應(yīng)設(shè)置吹掃盤、2。選用的吹掃盤所使用的管道、配件的材料與所輸送的氣體應(yīng)具有相容性。3.應(yīng)設(shè)置過流量控制，并設(shè)緊急切斷閥，4,只有用于相容氣體的吹掃盤，才容許共用吹掃氣瓶、5，設(shè)手動切斷閥,以便將吹掃盤整體取下進(jìn)行修理、2.吹掃盤的吹掃氣源一般采用以下兩種方式 1。采用常用氣體輸配系統(tǒng)作為吹掃氣源 系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防回流措施 以防止吹掃氣體與其他工藝特氣的交叉污染,2。采用專用吹掃氣體鋼瓶或鋼瓶組作為吹掃氣源。對物化性質(zhì)不相容的兩個或兩個以上特氣鋼瓶氣源所配置的吹掃盤.不允許合用一氣體鋼瓶或鋼瓶組吹掃氣源。10 4。5.本條規(guī)定硅烷或硅烷混合物氣瓶應(yīng)存放在電子工業(yè)潔凈廠房建筑外的儲存區(qū)內(nèi)、并規(guī)定了這類儲存區(qū)設(shè)置的相關(guān)規(guī)定.這些規(guī)定 主要是參考了美國消防協(xié)會發(fā)布的NFPA。318 潔凈室消防標(biāo)準(zhǔn) 第6 4節(jié)的有關(guān)規(guī)定，1，儲存區(qū)必須是三面敞開的，氣瓶用鋼制框架保護(hù).2,氣瓶與周圍構(gòu)筑物及圍欄最小間距應(yīng)大于等于95英尺。約2 7m,3、當(dāng)儲存區(qū)設(shè)有雨篷時.其凈高應(yīng)為12英尺、約3 7m。