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10、氣體供應(yīng)10，1，一般規(guī)定10.1.1。潔凈廠房?jī)?nèi)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)的需求使用各種不同類型的特種氣體.常用氣體 干燥壓縮空氣.其氣體品質(zhì)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求。10、1。2.常用氣體的供氣方式和供氣系統(tǒng)。應(yīng)根據(jù)氣體用量，氣體品質(zhì)和當(dāng)?shù)氐墓鉅顩r等因素.經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較后確定、10。1。3,潔凈廠房常用氣體.特種氣體的制備 儲(chǔ)存 分配系統(tǒng) 除應(yīng)符合本規(guī)范外 還應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn).建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范 GB50016、氫氣站設(shè)計(jì)規(guī)范 GB、50177和、氧氣站設(shè)計(jì)規(guī)范、GB.50030等的有關(guān)規(guī)定。10，1,4 潔凈廠房?jī)?nèi)的氣體管道的干管.應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)、當(dāng)與水,電管線共架時(shí)、比空氣重的氣體管道宜設(shè)在水.電管線下部,比空氣輕的氣體管道宜設(shè)在水、電管線上部.10，1,5。潔凈室。區(qū)。內(nèi)的可燃?xì)怏w管道和有毒氣體管道應(yīng)明敷、穿過(guò)潔凈室，區(qū) 的墻壁或樓板處的管段應(yīng)設(shè)置套管，套管內(nèi)的管道不得有焊縫。套管與管道之間應(yīng)采取密封措施 10.1.6、可燃?xì)怏w管道和有毒氣體管道不得穿過(guò)不使用此類氣體的房間 當(dāng)必須穿過(guò)時(shí)應(yīng)設(shè)套管或雙層管，10 1 7 高純氣體管道設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定.1,管徑應(yīng)按氣體容許流量.壓力或生產(chǎn)工藝設(shè)備確定，管外徑不宜小于6mm、壁厚不宜小于1mm，2、不得出現(xiàn)不易吹除的,盲管.等死空間,3，管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置吹掃口和取樣口,10、1,8。潔凈廠房的可燃?xì)怏w管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置下列安全設(shè)施.1，可燃?xì)怏w管道設(shè)置閥門時(shí)應(yīng)設(shè)置閥門箱、閥門箱應(yīng)設(shè)置氣體泄漏報(bào)警和事故排風(fēng)裝置，報(bào)警裝置應(yīng)與相應(yīng)的事故排風(fēng)機(jī)聯(lián)鎖.2 接至用氣設(shè)備的支管和放散管。宜設(shè)置阻火設(shè)施 3,引至室外的放散管,應(yīng)設(shè)置防雷保護(hù)設(shè)施.4，應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。10 1、9、氣體過(guò)濾器應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對(duì)氣體潔凈度的要求進(jìn)行選擇和配置、終端氣體過(guò)濾器應(yīng)設(shè)置在靠近用氣點(diǎn)處.