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9 純水供應(yīng)9、1。一般規(guī)定9、1。1,電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)中純水供應(yīng)是重要內(nèi)容之一。各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對(duì)純水水質(zhì)，水量要求均不相同 在中國(guó)電子級(jí)水的技術(shù)指標(biāo)中，僅電阻率一項(xiàng)指標(biāo)。EW,1級(jí)水為18MΩ,cm以上，而EW.4級(jí)水只為0,5MΩ。cm.相差36倍,在美國(guó)試驗(yàn)與材料協(xié)會(huì).ASTM、D5127，電子及半導(dǎo)體工業(yè)用純水水質(zhì)要求。中E.1級(jí),E.4級(jí)的電阻率指標(biāo)也是這樣。并且對(duì)各等級(jí)純水中離子濃度要求相差更大，如Na離子、E。1級(jí)為0,05μg,L，E。1,2級(jí)為0，005μg.L。E。3級(jí)為5μg L，E.4級(jí)為1000μg,L E.1級(jí)與E、4級(jí)相差20000倍.各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)用水量的差異也是很大的。一些電子產(chǎn)品組裝廠或電子元件工廠的純水用量在5t h以下、而TFT.LCD潔凈廠房的純水用量達(dá)500，1000t。h、純水系統(tǒng)的原水水質(zhì)因各地區(qū).城市的水源不同相差很大，有的城市以河水為水源，即使是河水、其河水的源頭和沿途流經(jīng)地區(qū)的地質(zhì)、地貌不同、水質(zhì)也是不同的、有的城市以井水為水源、井的深度不同.地域不同.地質(zhì)構(gòu)造不同均會(huì)千差萬別，現(xiàn)在不少城市的水源包括河水。湖水、井水等 有的城市各個(gè)區(qū)，段供水水質(zhì)也不相同,所以純水系統(tǒng)的選擇，應(yīng)根據(jù)原水水質(zhì)的不同,差異很大。是否選擇原水預(yù)處理,預(yù)處理設(shè)備的種類,規(guī)模都與原水水質(zhì)有關(guān)。因此，電子工業(yè)潔凈廠房的純水系統(tǒng)的選擇應(yīng)根據(jù)原水水質(zhì)和電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對(duì)水質(zhì)的要求。結(jié)合純水系統(tǒng)的產(chǎn)水量以及當(dāng)時(shí) 當(dāng)?shù)氐募兯O(shè)備，材料供應(yīng)等情況,綜合進(jìn)行技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較確定,首先是技術(shù)上的可行.供水水質(zhì)的可靠,在此前提下、選用建設(shè)投資較少.運(yùn)行費(fèi)用低或建設(shè)投資回收年限較短的技術(shù)方案 9.1、4.電子工業(yè)潔凈廠房的潔凈室 區(qū) 內(nèi).一般不可避免地將會(huì)布置有純水支管或接至產(chǎn)品生產(chǎn)設(shè)備的純水管道.為了減少污染物的擴(kuò)散。發(fā)生、積聚和易于清潔 純水管道的保溫材料選擇時(shí)，應(yīng)選用不產(chǎn)生污染物的材料.如橡塑保溫材料等，其外表面應(yīng)平整 光滑、宜外包保護(hù)層