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- 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范 GB 50472-2008
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計(jì)要求
- 4 總體設(shè)計(jì)
- 5 工藝設(shè)計(jì)
- 6 潔凈建筑設(shè)計(jì)
- 7 空氣凈化和空調(diào)通風(fēng)設(shè)計(jì)
- 8 給水排水設(shè)計(jì)
- 9 純水供應(yīng)
- 10 氣體供應(yīng)
- 11 化學(xué)品供應(yīng)
- 12 電氣設(shè)計(jì)
- 13 防靜電與接地設(shè)計(jì)
- 14 噪聲控制
- 15 微振控制
- 15.1 一般規(guī)定
- 15.2 容許振動值
- 15.3 微振動控制設(shè)計(jì)
- 附錄A 各類電子產(chǎn)品生產(chǎn)對空氣潔凈度等級的要求
- 附錄B 電子產(chǎn)品生產(chǎn)間／工序的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類舉例
- 附錄C 精密儀器、設(shè)備的容許振動值舉例
- 附錄D 潔凈室(區(qū))性能測試和認(rèn)證
- 本規(guī)范用詞說明
- 條文說明
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15。3，微振動控制設(shè)計(jì)15 3 1,潔凈廠房的微振動控制設(shè)計(jì),應(yīng)按下列階段進(jìn)行微振動測試分析 1。場地環(huán)境振動測試及分析.2.潔凈廠房建筑結(jié)構(gòu)振動特性測試及分析.3，精密設(shè)備 儀器安裝地點(diǎn)環(huán)境振動測試及分析，4 微振動控制的最終測試及分析、15.3,2 有微振動控制要求的潔凈室，區(qū)、其建筑結(jié)構(gòu)的微振動控制設(shè)計(jì)、應(yīng)符合下列規(guī)定.1.建筑物基礎(chǔ)宜置于動力性能良好的地基土上,且基礎(chǔ)應(yīng)有足夠剛度 2,應(yīng)設(shè)置獨(dú)立的建筑結(jié)構(gòu)微振動控制體系，并應(yīng)與廠房主體結(jié)構(gòu)分隔.3，主體結(jié)構(gòu)應(yīng)根據(jù)微振動控制的要求 適當(dāng)加大梁.柱.墻,基礎(chǔ)等截面尺寸、15,3 3 有強(qiáng)烈振動的設(shè)備和管道,宜采取主動隔振措施 并應(yīng)符合下列要求,1。宜采用隔振臺，座。2.應(yīng)選用剛度適當(dāng)?shù)母粽衿?3、通往潔凈室。區(qū) 的管道，宜采取隔振支,吊。架,柔性連接等隔振措施,15,3，4 潔凈室內(nèi)精密設(shè)備。儀器的被動隔振措施的設(shè)計(jì) 應(yīng)符合下列要求,1 隔振臺.座、應(yīng)具有足夠的剛度,2、應(yīng)采用低剛度隔振設(shè)施,3、隔振系統(tǒng)各向阻尼比不應(yīng)小于0、15.4 隔振臺 座.應(yīng)采取傾斜校正措施,5 隔振設(shè)施不應(yīng)影響氣流流型。6，當(dāng)采用空氣彈簧隔振器時(shí)。其供氣系統(tǒng)應(yīng)進(jìn)行凈化處理。并應(yīng)達(dá)到潔凈室空氣潔凈度等級的要求