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10,氣體供應10、1.一般規(guī)定10，1，1。潔凈廠房使用的氣體有常用氣體 干燥壓縮空氣及特種氣體三大類,根據(jù)各種電子產(chǎn)品品種及其生產(chǎn)工藝的不同.使用氣體的品種 純度及雜質(zhì)含量是不相同的 表22是幾類電子產(chǎn)品所需氣體品種。10，1。3.潔凈廠房所使用氣體的制備、純化，儲存及分配系統(tǒng)，除應遵守本規(guī)范外，還應遵守相關現(xiàn)行國家標準的規(guī)定，其中主要有，建筑設計防火規(guī)范、GB。50016 壓縮空氣站設計規(guī)范。GB 50029，氫氣站設計規(guī)范 GB.50177 氧氣站設計規(guī)范。GB,50030、工業(yè)金屬管道設計規(guī)范,GB.50316等。10，1。4。10.1。6,目前、各類電子工業(yè)潔凈廠房中。常用氣體管道的一次配管、均敷設在與用氣設備相關潔凈室、區(qū)。毗鄰的技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)。除壓縮空氣管道外 其他各類氣體管道不得穿過與其無關的房間或不使用這些氣體的房間.有時為布置的方便或可減少大量的管材,必須穿越時應設套管或雙層管、以免運行中這些氣體泄漏。由于此類無關房間未采取通風 報警措施，易引起事故，特種氣體管道由于管徑較小.一般均采用相對集中敷設、潔凈室。區(qū)，內(nèi)的惰性及無危害性氣體管道及其管架宜暗敷或設置在便于檢查 維護的裝飾面板內(nèi) 可燃.有毒或有害氣體管道應外露敷設、可燃氣體、有毒氣體穿過潔凈室、區(qū)，墻或樓板處管道應設套管。該套管內(nèi)的氣體管道不得有焊縫、以避免因焊縫質(zhì)量問題，泄漏氣體后無法檢查。形成逐漸積聚,成為安全事故的隱患。10 1。7。電子工業(yè)潔凈廠房中,由于高純氣體管道內(nèi)輸送的氣體中雜質(zhì)含量都極低 一般氧含量都在10。6，10、10,水含量在10 5 10 9.而潔凈室生產(chǎn)環(huán)境中的氧濃度 水汽含量均在10 1以上.即高純氣體輸送管內(nèi)外的氧氣。水分的分壓差達105、1010、分壓差極大,根據(jù)國內(nèi)外許多研究試驗和實際運行都表明、高純氣體輸送過程中存在著被生產(chǎn)環(huán)境中的氣體或水分所污染的巨大潛在危險.為此。防滲漏污染是高純氣體管路設計中必須認真解決的技術(shù)措施，另外,在高純氣體管道施工安裝或檢修后或因故停氣恢復時.管內(nèi)存在的各種雜質(zhì)氣體的吹掃或因停氣后不可避免地因管內(nèi)外分壓差而被污染 也需進行吹掃置換達到所要求純度和雜質(zhì)容許含量。為了減少吹掃 置換時間.也要求高純氣體管路設計時.必須采取相應的技術(shù)措施。本條規(guī)定的3款規(guī)定正是這些技術(shù)措施的具體要求 它們是國內(nèi)外從事高純氣體設計，安裝和運行的科技人員多年經(jīng)驗的總結(jié)。其中第2.3款作為強制性條文,是有關設計者必須遵守的規(guī)定。10、1.8、本條為電子工業(yè)潔凈廠房內(nèi)設有可燃氣體管道時、應采取的安全技術(shù)措施、制定這些規(guī)定的理由是,1.在使用可燃氣體的潔凈室廠房內(nèi) 為避免可燃氣體的泄漏引發(fā)燃燒。爆炸事故、一般是將管路上的閥門設置在閥門箱內(nèi).此類閥門箱均設有氣體泄漏報警和事故排風裝置.2.目前、在電子工業(yè)潔凈廠房中的氫氣或含氫可燃氣體等接至用氣設備，無明火,的支管和放散管，為防火回火引發(fā)事故。均設有阻火器 但除此之外的可燃氣體管道大部分沒有設阻火器 所以本條規(guī)定 宜設置阻火設施。