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7,5.采暖.通風(fēng)7。5，1。為使?jié)崈羰?區(qū) 內(nèi)嚴(yán)格做到不產(chǎn)生或少產(chǎn)生塵粒.不滯留或少滯留塵粒、若潔凈室.1X。需設(shè)置采暖設(shè)施時.不應(yīng)采用散熱器采暖 據(jù)調(diào)查了解,目前電子產(chǎn)品生產(chǎn)用潔凈室。區(qū)，內(nèi)大多不采用散熱器采暖。為此本條作了嚴(yán)格規(guī)定。并為強制性條文 7、5.2、為確保局部排風(fēng)系統(tǒng)的安全。穩(wěn)定運行。電子工業(yè)潔凈廠房內(nèi)局部排風(fēng)系統(tǒng)單獨設(shè)置的要求、應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)，潔凈廠房設(shè)計規(guī)范.GB.50073 2001中第6 5,3條規(guī)定，7、5.3、一些電子工業(yè)潔凈廠房內(nèi)使用各類品種 一定數(shù)量的可燃。易爆和有毒物質(zhì)，其中以集成電路芯片制造工廠為最多.為確保電子產(chǎn)品生產(chǎn)的安全?？煽窟\行 通常在使用這些物質(zhì)的生產(chǎn)設(shè)備均設(shè)有局部排風(fēng)系統(tǒng).在芯片制造用潔凈廠房中的可燃.有毒或有害物質(zhì)主要有、酸堿類,HF HCl.H2SO4、HN03 NH3等、有機類、IPA，異丙醇、CHCl3,NBA，HMDS 丙酮等。特種氣體 AsH3.SiH4 PH3 B2H6，HCl、NF3 WF6，SiHCl3、CF4 SF6。N20等。這些物質(zhì)大部分對人類生存環(huán)境具有巨大的危害性，為此。電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計中必須采取必要的技術(shù)措施 將危害性減少到最小.同時、還應(yīng)采取技術(shù)措施 防止這些物質(zhì)的排氣系統(tǒng)對所在廠房的安全,衛(wèi)生造成威脅或危害,本條的各項要求以此為出發(fā)點作出相應(yīng)的規(guī)定.現(xiàn)對一些規(guī)定說明如下,1 排氣系統(tǒng)中 含有水蒸氣或凝結(jié)物質(zhì)時、若不能排除系統(tǒng)中的凝結(jié)液.將使排氣系統(tǒng)不能正常運行或造成安全事故或影響潔凈室,區(qū),的空氣潔凈度.為此本條規(guī)定、此類排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)坡度及排放口、以便及時排出凝結(jié)物質(zhì),2 排氣介質(zhì)中含有劇毒物質(zhì)時.該排風(fēng)系統(tǒng)在運行過程中是不能停止運轉(zhuǎn)的。一旦停機、將對潔凈室工作人員和潔凈廠房周圍環(huán)境帶來致命的或巨大的危害、為此本條規(guī)定。此類排風(fēng)系統(tǒng)的排風(fēng)機和處理設(shè)備應(yīng)設(shè)備用，并設(shè)置應(yīng)急電源 排風(fēng)介質(zhì)中含易燃.易爆等危險物質(zhì)或工藝可靠性要求較高時。為確保安全運行。排風(fēng)系統(tǒng)也不能停止運轉(zhuǎn) 為此本條規(guī)定。此類系統(tǒng)的排風(fēng)機應(yīng)設(shè)備用.并應(yīng)設(shè)應(yīng)急電源.3.現(xiàn)將美國消防協(xié)會、NFPA 的NFPA,318,潔凈室消防標(biāo)準(zhǔn)。中的相關(guān)條文摘錄如下、供參考、第3 5、1條 排風(fēng)系統(tǒng)必須設(shè)有自動應(yīng)急電源。第3、5.2條 應(yīng)急電源工作時、必須達到不低于排氣系統(tǒng)50,的容量。第8,8節(jié)，使用可燃或易燃化學(xué)品的設(shè)備、必須具有可燃或易燃?xì)怏w或蒸氣濃度降低至爆炸下限20 以下的排氣系統(tǒng)。7、5，4，為了避免含有毒性。爆炸危險性物質(zhì)的排氣管路向沿程或路由區(qū)域泄漏.形成安全事故的發(fā)生。本條規(guī)定 此類排氣管路內(nèi)壓力應(yīng)低于路由區(qū)域內(nèi)的壓力 即保持一定的負(fù)壓值.美國消防協(xié)會的NFPA。318,潔凈室消防標(biāo)準(zhǔn).中第3。2、3條規(guī)定.含有有毒化學(xué)物質(zhì)的排氣系統(tǒng)壓力.必須低于通過建筑區(qū)域的正常壓力、7,5 6，制定本條的主要依據(jù)有,1 按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn),采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計規(guī)范、GB50019。2003中第5、4，3條制定本條第1款規(guī)定,2、根據(jù)現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn),采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計規(guī)范,GB50019 2003中第5.4.6條規(guī)定本條第2款明確規(guī)定在潔凈室,區(qū).和潔凈室、區(qū),外設(shè)手動控制開關(guān)。為運行安全和管理要求，并規(guī)定應(yīng)設(shè)自動控制開關(guān) 3、參照美國消防標(biāo)準(zhǔn)NFPA。318 潔凈室消防標(biāo)準(zhǔn).中第3 5.1條,排氣通風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源.為確保事故排風(fēng)系統(tǒng)及時投入運行.不會因停電無法運行而誘發(fā)事故的發(fā)生。制定本條第3款的規(guī)定。