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6，2、防火和疏散6 2，1 電子工業(yè)潔凈廠房具有如下主要特點。在電子產(chǎn)品如電子材料、半導體器件、集成電路，液晶顯示器件等的生產(chǎn)過程中需使用易燃易爆的氣體.化學品等,它們對潔凈廠房構成潛在的火災威脅 一些電子工業(yè)潔凈廠房的面積大.體積大 并且常常是平面布置?？臻g布置曲折，增加了疏散路線上的障礙.可能延長安全疏散的時間.潔凈廠房內電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程需應用各種類型的精密。貴重的設備 儀器,建設投資巨大、一旦失火，將會造成極大的損失，鑒于以上主要特點，為了保障財產(chǎn),人身的安全,嚴格控制電子工業(yè)潔凈廠房建筑耐火等級是十分重要的。因此作了本條規(guī)定、并為強制性條文 6.2,2，本條規(guī)定，電子工業(yè)潔凈廠房內生產(chǎn)工作間的火災危險性、應按照現(xiàn)行國家標準、建筑設計防火規(guī)范、GB，50016分類 并在附錄B中列出電子工業(yè)潔凈廠房生產(chǎn)工作間的火災危險性分類的舉例，現(xiàn)對附錄B中與現(xiàn)行國家標準 潔凈廠房設計規(guī)范,GB。50073相關舉例不同或增加的內容說明如下1 電子工業(yè)潔凈廠房中,有使用丁酮、丙酮,異丙醇等易燃化學品的潔凈室 這些化學品的主要性質見表25,從表中數(shù)據(jù)可見丙酮 異丙醇等均為易燃化學品.應屬甲類、因此將電子工業(yè)潔凈廠房設有這些化學品的儲存間,分配間列為甲類。2,電子工業(yè)潔凈廠房中、尤其在半導體類潔凈廠房中常常使用H2，SiH4，AsH3,PH3等可燃 有毒氣體。從表22中所列這些氣體的主要性質可見.它們均為可燃氣體,有毒氣體，因此將電子工業(yè)潔凈廠房中設有可燃,有毒氣體的儲存 分配間列為甲類，3。半導體器件。集成電路工廠的外延間，由于其生產(chǎn)過程中需使用H2、S1H4等可燃氣體,因此在現(xiàn)行國家標準、潔凈廠房設計規(guī)范 GB,50073附錄A中外延間列為甲類 但是近年來，隨著科學技術進步.半導體器件和集成電路生產(chǎn)所采用的外延設備的設計，制造技術有了很大的提高.各種氣體供應 控制系統(tǒng),設備和附件設計。制造技術有了很大的提高、氣體報警設施的安全可靠性也有了長足進步和提高，據(jù)調查表明半導體器件和集成電路生產(chǎn)所采用的外延設備已配置有氫氣泄漏和排放超濃度報警 連鎖控制裝置以及滅火裝置等 半導體器件和集成電路生產(chǎn)用外延間的氫氣供應管路設有緊急切斷閥。一旦發(fā)生事故?；鹎闀r,自動切斷氫氣供應，外延間按建筑特點在可能積聚氫氣處設置氫氣報警裝置和事故排風連鎖控制裝置等安全技術措施。所以本次規(guī)范制定時，考慮到在具備上述安全技術措施的條件下 宜將半導體器件和集成電路生產(chǎn)等所使用的外延間列為丙類。6，2,3、從20世紀90年代末以來、我國建設了一批大規(guī)模集成電路芯片生產(chǎn)用潔凈廠房,TFT。LCD生產(chǎn)用潔凈廠房、它們的潔凈室面積和防火分區(qū)面積均大大超過現(xiàn)行國家標準、潔凈廠房設計規(guī)范.GB,50073，建筑設計防火規(guī)范 GB。50016規(guī)定的面積。這些芯片制造。TFT。LCD制造為代表的高科技潔凈廠房具有大面積 大體量的特點,如表18所列的國內8，12 芯片生產(chǎn)潔凈廠房潔凈區(qū)面積從6500m2,16000m2，第五，六代TFT,LCD生產(chǎn)用潔凈區(qū)已達36000m2。第八代TFT,LCD已達90000m2。這類潔凈廠房通常由潔凈生產(chǎn)區(qū)和潔凈生產(chǎn)區(qū)各自設有的上下技術夾層構成,廠房高度約為20,30m,由于芯片制造.TFT.LCD制造的生產(chǎn)工藝設備體量大、制造過程的連續(xù)性和自動化傳輸.所以生產(chǎn)工藝區(qū)是不能分隔的、為加強消防技術措施 在美國消防標準NFPA、318、潔凈室消防標準，中要求采用高靈敏。0。01。obs、m.早期空氣取樣式煙霧探測系統(tǒng) 在環(huán)境空氣中煙霧濃度很低的火情出現(xiàn)初期 探測系統(tǒng)即發(fā)出警報、相應消防應急系統(tǒng)即可啟動將火情消滅在初始階段,據(jù)了解,國內外的此類高科技潔凈廠房都這樣設計建造 投產(chǎn)最早的已有十年以上，鑒于上述情況,本條條文規(guī)定 丙類生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房的潔凈室 區(qū),在關鍵生產(chǎn)設備設有火災報警和滅火裝置以及回風氣流中設有靈敏度小于等于0,01.obs.m的高靈敏度早期煙霧報警探測系統(tǒng)后.其每個防火分區(qū)的最大允許建筑面積可按生產(chǎn)工藝要求確定 這里對這類電子工業(yè)潔凈廠房的防火分區(qū)最大容許建筑面積所做規(guī)定的理由是,電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求確實不可分時、即由于電子產(chǎn)品工藝的連續(xù)性或生產(chǎn)過程的自動化傳輸設備的需要、潔凈室確實不能按防火分區(qū)要求進行分隔的電子工廠潔凈廠房，在潔凈廠房內凈化空調系統(tǒng)混入新風前的回風氣流中應設置高靈敏度早期報警火災探測器及其報警系統(tǒng).Very Early,Smoke.Detection，Apparayus。簡稱VESDA，或稱空氣采樣式煙霧探測系統(tǒng)。Air.Sampling。Type、Smoke Detection.System、這類探測系統(tǒng)是主動抽取環(huán)境中空氣。只要空氣中有煙霧，就能及時報警。并在火災形成前數(shù)小時。實現(xiàn)早期報警,本條規(guī)定的靈敏度是傳統(tǒng)探測器的數(shù)百倍。做到早期發(fā)現(xiàn)、將火源消滅在初始狀態(tài)，在關鍵生產(chǎn)設備、主要是使用易引發(fā)火情的設備應設有火災報警和滅火裝置 據(jù)調研表明.在集成電路芯片工廠、TFT。LCD制造工廠等使用易燃。易爆化學品。氣體的生產(chǎn)設備都設有火災報警和滅火裝置，為本條規(guī)定的實施創(chuàng)造了有利條件。6.2.4。據(jù)調查資料表明,表18所列的一些電子工業(yè)潔凈廠房都是垂直單向流潔凈室,此類潔凈室的潔凈生產(chǎn)區(qū)與下技術夾層是以多孔活動地板和多孔混凝土板、華夫板。分隔.下技術夾層是回風靜壓箱、并可能安裝生產(chǎn)輔助設施，各類管線等。多孔活動地板上開孔多少視回風量確定.其開孔率一般在30、50。而華夫板上的開孔率大于上述開孔率。每個孔洞的直徑一般是400mm左右，下技術夾層不設崗位操作人員 其高度為2，5。5、5m、上技術夾層是送風靜壓箱.它以基本布滿高效空氣過濾器或FFU和燈具的吊頂格柵與潔凈生產(chǎn)區(qū)相連，上技術夾層沒有崗位操作人員、其高度一般為2,5。5。5m,由于上述構造特點和使用特性、所以美國NFPA,318。潔凈室消防標準 中明確。潔凈室包括活動地板下的空間和吊頂格柵以上作為空氣通道的空間,活動地板下方提供安裝機械。電訊或類似系統(tǒng)，或作為送風或回風靜壓箱作用的空間。潔凈室的上下技術夾層的建筑面積可不計入防火分區(qū)的建筑面積.上下技術夾層和潔凈生產(chǎn)層。按其構造特點和用途.可作為同一防火分區(qū),對于非單向流的技術夾層、一般均設在吊頂上部，其高度均小于2、0m，其潔凈生產(chǎn)層與吊頂上部的技術夾層均按同一防火分區(qū)進行設計 建造 所以本條作了相關的規(guī)定、6，2。5。電子工業(yè)潔凈廠房潔凈室的頂棚和墻板 技術豎井井壁的材質,應符合現(xiàn)行國家標準、潔凈廠房設計規(guī)范，GB 50073,2001中第5.2,4條 第5，2。6條的相關規(guī)定、6、2。6。本條依據(jù)現(xiàn)行國家標準。潔凈廠房設計規(guī)范、GB 50073、2001中第5,2，5條的規(guī)定,6.2.7,本條為潔凈廠房的安全出口設置的有關規(guī)定。第1款中規(guī)定依據(jù)現(xiàn)行國家標準、潔凈廠房設計規(guī)范。GB,50073。2001中第5.2、7條的規(guī)定，第2款安全疏散距離依據(jù)現(xiàn)行國家標準、建筑設計防火規(guī)范，GB 50016.2006的第3.7。4條中有關廠房內任一點到最近安全出口的距離不應大于表第3，7、4的規(guī)定.第2款中，還根據(jù)潔凈廠房平面布置要求和潔凈室的特點。規(guī)定了 安全出口應分散布置 并應設有明顯的疏散標志.等，以利于人員的疏散。第3款的規(guī)定是由于近年設計建造的微電子工廠潔凈廠房的大體量.大面積的實際情況。如表18中所列的5代、6代TFT.LCD液晶顯示器生產(chǎn)用潔凈廠房的潔凈生產(chǎn)區(qū)面積已達33000m2以上。建筑高度達26 5m、其廠房內任一點到最近安全出口的距離達80，120m,這類潔凈廠房內使用可燃。易燃氣體的關鍵設備均設有火災報警、氣體報警和C02滅火裝置。這類廠房如前所述均設有高靈敏度早期煙霧探測系統(tǒng)，且此類廠房由于生產(chǎn)工藝設備體積大 連續(xù)性生產(chǎn).自動化傳輸?shù)纫蛩?致使要實現(xiàn)廠房內任一點到安全出口的距離符合現(xiàn)行國家標準.建筑設計防火規(guī)范。GB 50016的規(guī)定十分困難 此類廠房中操作人員較少。人員密度極低、且人員流動巡查,因此本款規(guī)定、丙類生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房，在關鍵生產(chǎn)設備自帶火災報警和滅火裝置以及回風氣流中設有靈敏度嚴于0，01 obs、m的高靈敏度早期火災報警探測系統(tǒng)后，安全疏散距離可按工藝需要確定、但不得大于本條第2款規(guī)定的安全疏散距離的1,5倍.在本款的，注,中對8代TFT.LCD生產(chǎn)用潔凈生產(chǎn)區(qū)的疏散距離,推薦在人員密度小于0、02人,m2時?？砂垂に囆枰_定、但不得超過120m、6，2，8，由于電子工業(yè)潔凈廠房空間密閉.且設有人員凈化,物料凈化設施，一旦出現(xiàn)火情.消防人員進入潔凈室的路徑較困難、為此本條規(guī)定潔凈室。區(qū)，各層外墻應設供消防人員通往潔凈室、區(qū).的入口.鑒于潔凈廠房外墻上樓層的吊門 電控自動門 一般都不能從外面開啟,因此不能作為消防人員進入廠房的入口,裝有柵欄的窗。由于柵欄的阻隔 影響消防人員迅速進入廠房,也不能作為消防人員的入口 6,2，9,制定本條的依據(jù)是,1 在電子工業(yè)潔凈廠房內不可避免地會設有現(xiàn)行國家標準。建筑設計防火規(guī)范，GB.50016,2006相關規(guī)定所容許的一定規(guī)模的有爆炸危險的甲乙類生產(chǎn)部位，區(qū)域,房間等。如高純氣體純化間。有可燃氣體的氣體入口室、特種氣體儲存分配間?？扇蓟瘜W品儲存、分配間等。2。在現(xiàn)行國家標準 建筑設計防火規(guī)范。GB,50016,2006中明確規(guī)定，對有爆炸危險的甲乙類生產(chǎn)部位，宜設置在單層廠房外墻的泄壓設施或多層廠房頂層靠外墻的泄壓設施附近