13.2、防靜電措施13,2.1、潔凈廠房防靜電環(huán)境中.防靜電地面的面層結(jié)構(gòu)和材料應(yīng)符合下列要求.1、防靜電地面面層的選擇 應(yīng)滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的要求 2,防靜電地面的表層應(yīng)采用靜電耗散性材料,靜電耗散性材料表面電阻率應(yīng)為2。5。104,1。109Ω,3 防靜電地面應(yīng)設(shè)置導(dǎo)靜電泄放設(shè)施和接地連接、其地面對地泄放電阻值應(yīng)為1,105、1。108Ω、13.2、2.潔凈廠房防靜電環(huán)境的吊頂 墻面和柱面的裝飾設(shè)計,應(yīng)符合下列要求.1,一級防靜電工作區(qū)的地面,墻面和柱面應(yīng)采用導(dǎo)靜電型.導(dǎo)靜電型地面。墻面.柱面的表面電阻,對地電阻應(yīng)為2、5,104.1、106Ω,摩擦起電電壓不應(yīng)大于100V、靜電半衰期不應(yīng)大于0.1s。2,二級防靜電工作區(qū)的地面,墻面、柱面、頂棚。門和軟簾應(yīng)采用靜電耗散型.靜電耗散型地面 墻面,柱面和頂棚 門的表面電阻。對地電阻應(yīng)為1。106.1。109Ω,摩擦起電電壓不應(yīng)大于200V,靜電半衰期不應(yīng)大于1s、但軟簾的摩擦起電電壓不應(yīng)大于300V,3、三級防靜電工作區(qū)的地面,墻面和柱面宜根據(jù)生產(chǎn)工藝要求采用靜電耗散型材料或低起電材料,頂棚、門等宜采用低起電材料,選用靜電耗散型材料的地面 墻面和柱面。應(yīng)符合本條第2款的要求.選用低起電材料的地面。墻面,柱面。頂棚 門等的摩擦起電電壓不應(yīng)大于1000V,13、2、3,潔凈廠房防靜電環(huán)境的門窗設(shè)計 應(yīng)符合下列要求。1。應(yīng)選用靜電耗散材料制作門窗或采用耗散材料貼面 2 金屬門窗表面應(yīng)涂刷靜電耗散性涂層.并應(yīng)接地,3.室內(nèi)隔斷和觀察窗安裝大面積玻璃時,玻璃表面應(yīng)粘貼靜電耗散性透明薄膜或噴涂靜電耗散性涂層.13,2 4 潔凈廠房防靜電環(huán)境的裝修設(shè)計應(yīng)符合下列要求、1、各類裝修材料應(yīng)具有表面靜電耗散性能.不得使用未經(jīng)表面改性處理的高分子絕緣的裝飾材料、2、各類裝修的飾面應(yīng)平整光滑,13。2.5.潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)送風(fēng)口和風(fēng)管 應(yīng)選用導(dǎo)電材料制作,并應(yīng)接地.13,2,6。潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)、各種配管使用部分絕緣性材質(zhì)時。應(yīng)在其表面安裝金屬網(wǎng) 并應(yīng)將其接地,當(dāng)使用導(dǎo)電性橡膠軟管時.應(yīng)在軟管上安裝與其緊密結(jié)合的金屬導(dǎo)體.并應(yīng)采用接地引線與其可靠連接接地,13、2,7 潔凈廠房防靜電環(huán)境中。應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的需要設(shè)置靜電消除器,防靜電安全工作臺,