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10 4，特種氣體系統(tǒng)10，4 1、特種氣體應(yīng)采用外購(gòu)鋼瓶氣體 液態(tài)氣體供應(yīng)，在電子工廠內(nèi)應(yīng)設(shè)置儲(chǔ)存、分配系統(tǒng).10，4，2 潔凈廠房?jī)?nèi)特種氣體的儲(chǔ)存分配間應(yīng)采用耐火極限不低于2.0h不燃燒體的隔墻與潔凈室 區(qū) 分隔,隔墻上的門(mén)窗應(yīng)為甲級(jí)防火門(mén)窗，10。4。3.潔凈室。區(qū) 內(nèi)可燃或有毒的特種氣體分配系統(tǒng)的設(shè)置 應(yīng)符合下列規(guī)定，1 特種氣體鋼瓶.含硅烷或硅烷混合物，應(yīng)設(shè)置在具有連續(xù)機(jī)械排風(fēng)的特氣柜中、2。排風(fēng)機(jī)，泄漏報(bào)警、自動(dòng)切斷閥均應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源,3,一個(gè)特氣分配系統(tǒng)供多臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備使用時(shí)，應(yīng)設(shè)置多路閥門(mén)箱 4、可燃性.氧化性特種氣體管道的設(shè)置應(yīng)符合本規(guī)范第10。1和10、2節(jié)的有關(guān)規(guī)定,10、4 4 特種氣體分配系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置吹掃盤(pán)、并應(yīng)符合下列規(guī)定。1,應(yīng)設(shè)置應(yīng)急切斷裝置、2,應(yīng)設(shè)置過(guò)流量控制裝置.3 應(yīng)設(shè)置手動(dòng)隔離閥，4、吹掃氣源不宜采用常用氣體系統(tǒng),5 不相容特種氣體的吹掃盤(pán)不得共用吹掃氣瓶、10 4，5 硅烷或硅烷混合物的氣瓶應(yīng)存放在潔凈廠房建筑外的儲(chǔ)存區(qū)內(nèi),儲(chǔ)存區(qū)的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定。1，儲(chǔ)存區(qū)應(yīng)至少三面敞開(kāi).氣瓶應(yīng)固定在鋼制框架上，2。氣瓶或氣瓶組與周圍的構(gòu)筑物或圍欄的間距應(yīng)大于3、0m，3 儲(chǔ)存區(qū)頂棚的高度應(yīng)大于3,5m,