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7 3。凈化空調(diào)系統(tǒng)7。3。1、電子工業(yè)潔凈廠房中的凈化空調(diào)系統(tǒng)的主要形式為集中式和分散式 圖5是幾種分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)的典型圖示。從圖中可見。各種形式各具特點(diǎn)和適用性 在實(shí)際應(yīng)用中，應(yīng)根據(jù)具體工程項(xiàng)目的潔凈室規(guī)模，空氣潔凈度等級(jí)和電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)及其要求確定、同時(shí)考慮運(yùn)行經(jīng)濟(jì)和降低能量消耗，7、3 2 電子工業(yè)潔凈廠房 尤其在規(guī)模較大的集成電路芯片生產(chǎn)和TFT.LCD生產(chǎn)用潔凈廠房的送風(fēng)方式有集中送風(fēng)。隧道送風(fēng)和風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組送風(fēng)等類型,各種送風(fēng)方式各具特點(diǎn)和適用性,圖6是各種送風(fēng)方式的示意圖，圖6中,a，集中送風(fēng)系統(tǒng)，CentralSystem。室外新風(fēng)經(jīng)新風(fēng)處理裝置,MAU，后 與經(jīng)表冷器降溫和風(fēng)機(jī)增壓后的回風(fēng)混合.通過高效過濾器送至潔凈生產(chǎn)層.b,隧道送風(fēng)系統(tǒng),Tunnel.System,潔凈區(qū)的回風(fēng)經(jīng)維修區(qū)與新風(fēng)處理,MAU。后的新風(fēng)混合后,由循環(huán)空氣處理裝置送入送風(fēng)靜壓箱,通過空氣過濾器送入潔凈區(qū) c.FFU系統(tǒng) 潔凈區(qū)回風(fēng)經(jīng)表冷器降溫后與處理后新風(fēng)混合。通過FFU增壓、過濾送入潔凈區(qū).三個(gè)系統(tǒng)各有利弊，其選擇主要與電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝.能量消耗 建設(shè)投資等有關(guān)、有時(shí)也與業(yè)主的意愿有關(guān)、但近年來在集成電路潔凈廠房中.采用FFU系統(tǒng)者日益增多，7。3，3，在一些電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中.需使用各種不同的可燃。有毒氣體或化學(xué)品、使用這些物質(zhì)的生產(chǎn)設(shè)備或儲(chǔ)存 分配設(shè)施都將設(shè)置必要的排風(fēng)裝置，為此 在這類電子產(chǎn)品生產(chǎn)用潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)的新鮮空氣吸入口、必須遠(yuǎn)離上述排氣口，以確保潔凈室，區(qū)、的安全運(yùn)行和工作人員身體健康。美國(guó)消防協(xié)會(huì)發(fā)布的NFPA318、潔凈室消防標(biāo)準(zhǔn) 的第3、1、1條規(guī)定、潔凈室的室外空氣吸入口的位置必須避免吸入本建筑或裝置產(chǎn)生的可燃?xì)怏w或有毒化學(xué)品、7，3，4，近年在電子工業(yè)潔凈廠房中。當(dāng)設(shè)有多套凈化空調(diào)系統(tǒng)或潔凈廠房規(guī)模較大時(shí),常常采用新風(fēng)集中處理的方式。采用這種方式的特點(diǎn)或優(yōu)越性主要有 1 將送入潔凈室的空氣凈化與熱濕處理分離.有利于降低能源消耗,2、有利于消除冷熱抵消,3,有利于強(qiáng)化對(duì)室外新風(fēng)的處理。在微電子 光電子用潔凈室的送風(fēng)中、不僅要求控制微粒,溫度，相對(duì)濕度等 還要求去除影響產(chǎn)品質(zhì)量或降低成品率的分子態(tài)化學(xué)污染物，如Na。SOx.NOx Cl、B等，這些污染物主要來自室外大氣中、為此 對(duì)于此類潔凈廠房需對(duì)室外吸入新鮮空氣進(jìn)行嚴(yán)格處理。常常可以采用淋水法去除大氣中的SOx、NOx和Cl、采用化學(xué)過濾器和活性炭過濾器。利用物理吸附和化學(xué)吸附的原理,將低濃度的分子態(tài)化學(xué)污染物去除到規(guī)定的濃度要求 圖7是某微電子工業(yè)潔凈廠房的新風(fēng)處理裝置示意圖、采用了11個(gè)功能段 兩級(jí)加熱 兩級(jí)表冷 兩級(jí)淋水。四級(jí)過濾和一級(jí)加濕，7 3 5,潔凈廠房?jī)艋照{(diào)系統(tǒng)的設(shè)計(jì) 若能在滿足工作人員必須的新鮮空氣量的前提下將潔凈室的回風(fēng)基本得到合理利用 是最佳的運(yùn)行方式,這樣可以大大降低新風(fēng)處理所需加熱，冷卻用能量和輸送用能量，是潔凈室設(shè)計(jì)中最佳節(jié)能措施.所以本條規(guī)定除了三種情況不得回風(fēng)外，其余均應(yīng)合理利用回風(fēng)