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11 3.管材.閥門11,3.1、電子工業(yè)潔凈廠房所需化學(xué)品的品質(zhì)較多,包括具有可燃性。氧化性,腐蝕性的各種酸堿.有機(jī)溶劑等 為確保化學(xué)品的輸送質(zhì)量,安全運(yùn)行和使用壽命 輸送化學(xué)品的管道材質(zhì)應(yīng)根據(jù)管內(nèi)流過化學(xué)品的物理化學(xué)性質(zhì)進(jìn)行選擇 如酸堿類輸送管道材質(zhì)。通常采用聚四氟乙烯管、并以透明PVC管做保護(hù)套管.避免輸送管道被腐蝕和預(yù)防酸堿液泄漏時(shí)造成人身,設(shè)備.受傷 受損.為防止各類化學(xué)品、特別是一些高純化學(xué)品在輸送過程中被污染或因管道材質(zhì)選用不當(dāng).引發(fā)不應(yīng)發(fā)生的化學(xué)反應(yīng),影響化學(xué)品質(zhì)量。所以輸送化學(xué)品管道的材質(zhì)應(yīng)選用化學(xué)穩(wěn)定性良好和相容性好的材料、如、輸送有機(jī)溶劑類化學(xué)品管道材質(zhì),通常采用管內(nèi)壁拋光的低碳不銹鋼管、SUS316L,EP。BA,等 本條為強(qiáng)制性條文,11。3、2,據(jù)調(diào)查了解.在電子工業(yè)潔凈廠房中,為防止有腐蝕性的酸堿類管道泄漏.殃及操作人員或生產(chǎn)設(shè)備、各類腐蝕性的酸堿類管道均采用帶套管的聚四氟乙烯管 PFA管 外套管為透明的PVC管等.在美國消防協(xié)會頒布的NFPA,318、潔凈室消防標(biāo)準(zhǔn),中。有一條例外的說明。易燃液體的加壓輸送系統(tǒng)容許用非金屬管道輸送。但必須設(shè)置于熔點(diǎn)高于1093 2000、F 的金屬制造的外殼中.鑒于上述情況 作了本條規(guī)定,11,3。3,對一些使用多種化學(xué)品的管道供應(yīng)系統(tǒng)的國內(nèi)電子工業(yè)潔凈廠房的調(diào)查和相關(guān)的技術(shù)資料介紹表明 為確?;瘜W(xué)品供應(yīng)輸送系統(tǒng)的安全和有利于連接多臺生產(chǎn)設(shè)備共用一條管路系統(tǒng) 一般在液體化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)中設(shè)有化學(xué)品供應(yīng)分配閥箱.Valve.Manifold。Box,簡稱VMB 如圖9所示,故作本規(guī)定,
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