4??傮w設(shè)計4,1、位置選擇和總平面布置4。1、1,電子產(chǎn)品生產(chǎn)用潔凈廠房與其他工業(yè)潔凈廠房的重要區(qū)別之一是一些電子產(chǎn)品生產(chǎn)對化學(xué)污染物有嚴(yán)格的要求.如微電子產(chǎn)品中需嚴(yán)格控制生產(chǎn)環(huán)境中的重金屬、有機(jī)物的含量.在表2中列出集成度從64M發(fā)展到64G時。重金屬要求從5,1010,原子、cm.2、嚴(yán)格至小于2,5,109.原子,cm、2、有機(jī)物從1、1014,原子 cm.2 嚴(yán)格至3.1012。原子.cm。2,據(jù)了解 一些微電子潔凈廠房的產(chǎn)品生產(chǎn)中發(fā)現(xiàn)極微量的Na.等化學(xué)物質(zhì)對產(chǎn)品生產(chǎn)影響極大、應(yīng)予嚴(yán)格控制。近年來 國內(nèi)外研究表明 由于全球環(huán)境保護(hù)的嚴(yán)峻形勢和各類工業(yè)生產(chǎn)發(fā)展,人民生活水平提高都使大氣中污染物種類 濃度發(fā)生了變化,尤其是城市中的工業(yè)燃燒排放物和汽車燃燒排放物的增加 大氣中的微粒濃度?;瘜W(xué)污染物也呈增加趨勢 大氣中化學(xué)污染物與所在地區(qū)的經(jīng)濟(jì)發(fā)展?fàn)顩r.固定燃燒源和移動燃燒源、汽車等 的組成,類型和數(shù)量關(guān)系密切、據(jù)大氣檢測表明 大氣中的化學(xué)物質(zhì)主要有陽離子Ca2、Na Mg2,K,陰離子,Cl、F.等。還有一些濃度較低的Hg等 隨著國民經(jīng)濟(jì)的發(fā)展.人民生活質(zhì)量的提高 這些物質(zhì)總的趨勢是逐年增加 一些城市或一些具體場所還會由于工業(yè)生產(chǎn)或汽車數(shù)量的增加或氣象條件的變化。有時或某一時間段這些化學(xué)物質(zhì)的數(shù)量,濃度都會增加。所以在進(jìn)行電子工廠特別在一些產(chǎn)品生產(chǎn)過程對化學(xué)污染物要求嚴(yán)格的潔凈廠房的選址應(yīng)予充分重視 為此。本條作出了三款的推薦性規(guī)定、4,1。2 本條規(guī)定電子工業(yè)潔凈廠房的新風(fēng)口與城市交通干道之間的距離.由于城市交通干道上運(yùn)輸車輛運(yùn)行中所產(chǎn)生的污染物主要通過新風(fēng)的吸入對潔凈廠房產(chǎn)生影響,根據(jù)現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn).潔凈廠房設(shè)計規(guī)范。GB 50073的相關(guān)規(guī)定,此距離宜大于50m、近年來.我國各地區(qū)的城市交通于道兩側(cè)或城市交通于道與工廠之間都建設(shè)了綠化帶。這些綠化帶有以草坪為主或樹、草間種或以樹為主等多種形式,測試數(shù)據(jù)表明 各種形式的綠化帶都具有一定吸塵,降低空氣中微粒濃度的作用 所以本條規(guī)定,當(dāng)電子工業(yè)潔凈廠房與交通干道之間設(shè)有城市綠化帶時,可視具體條件適當(dāng)減少距離、4。1 3、對于有微振控制要求的電子工業(yè)潔凈廠房的位置選擇時、應(yīng)實(shí)際測定擬建工廠廠址或已有工廠內(nèi)擬選擇潔凈廠房的場地周圍,現(xiàn)有振源和預(yù)測可能的振源的振動影響,此項(xiàng)測定正逐漸被相關(guān)科技人員和工程項(xiàng)目承建者關(guān)注和重視,但是由于微振控制要求和各類振源對微振控制的影響評價的技術(shù)復(fù)雜性。所以本條規(guī)定中強(qiáng)調(diào)、實(shí)際測定。和、模擬振源、的影響,4,1,4,近年來,電子工業(yè)潔凈廠房的總平面布置時,在充分考慮電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)和具體工程項(xiàng)目中潔凈廠房內(nèi)各功能區(qū),包括潔凈生產(chǎn)區(qū)、輔助生產(chǎn)區(qū)、非潔凈生產(chǎn)區(qū),公用動力系統(tǒng)和辦公等功能區(qū),合理布置的情況下、在合理進(jìn)行人流、物流組織、方便運(yùn)行維護(hù)管理 合理布置公用動力管線.降低能量消耗,確保安全生產(chǎn)的條件下 常常將電子工業(yè)潔凈廠房按組合式,大體量的綜合性廠房布置、這些電子工廠投入使用后得到了各方面的認(rèn)同、4.1.5,4.1,6.為減少電子工業(yè)潔凈廠房周圍的塵源或散發(fā)微粒的數(shù)量,在規(guī)范中規(guī)定.在潔凈廠房周圍及其周邊或?qū)τ谠O(shè)有潔凈廠房的電子工廠內(nèi)相關(guān)道路的路面選擇時,應(yīng)選擇整體性能好。不易產(chǎn)生裂縫的材料,不得選用容易發(fā)塵材料鋪砌,通常推薦采用瀝青路面、目前、電子工業(yè)潔凈廠房周圍進(jìn)行綠化時、一般可以采用鋪草坪的方式或草坪間種灌木等樹種的方式 由于電子產(chǎn)品的品種較多,不可能推薦一種綠化方式。考慮到種植各類樹種、花草等可能產(chǎn)生花粉等塵粒,并且微粒的化學(xué)組成十分復(fù)雜,為確保產(chǎn)品質(zhì)量 本規(guī)范中規(guī)定 不宜種植對生產(chǎn)環(huán)境和產(chǎn)品質(zhì)量有影響的植物.4 1,7。本條編寫的依據(jù)是現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn),建筑設(shè)計防火規(guī)范,GB,50016、2006中相關(guān)的規(guī)定。電子工業(yè)潔凈廠房內(nèi)均設(shè)有人凈設(shè)施,物凈設(shè)施等技術(shù)措施 潔凈廠房內(nèi)的疏散走道常常是曲折 多變,一旦出現(xiàn)火情后。為了方便消防人員能夠及時到達(dá)出事地點(diǎn)、為此 本條對潔凈廠房消防車道的設(shè)置不規(guī)定廠房占地面積下限值.