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5,5.設(shè)備及工器具5、5.1 5 5，3。在這三條的條文中。規(guī)定了為實(shí)現(xiàn)在潔凈室.區(qū)。內(nèi)使用防塵、防污染的生產(chǎn)設(shè)備和輔助生產(chǎn)設(shè)備，在工藝設(shè)計(jì)和選用設(shè)備時(shí)應(yīng)該遵循的一些基本要求 1。設(shè)備表面光潔。易清潔。不積塵，不揮發(fā)化學(xué)物質(zhì),這里不能只理解為設(shè)備外表面、應(yīng)該包括設(shè)備的所有可能與潔凈室 區(qū)，生產(chǎn)環(huán)境接觸的表面和可能與電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程接觸的表面，也包括這些表面的制作材料 某些電子產(chǎn)品與一些化學(xué)物質(zhì)在制作過(guò)程中或在電子產(chǎn)品的使用過(guò)程中可能發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。影響某些電子產(chǎn)品的性能參數(shù) 所以要求設(shè)備表面不揮發(fā)化學(xué)物質(zhì).2，在電子工業(yè)潔凈室 區(qū)、內(nèi).常常按產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求配置有在生產(chǎn)運(yùn)行中將會(huì)散發(fā)微?；蚺艧崃看蠡蚺懦鲇卸?。可燃?xì)怏w的設(shè)備,如半導(dǎo)體器件，集成電路生產(chǎn)中的擴(kuò)散爐 外延爐、刻蝕機(jī)。離子注入設(shè)備 氣相沉積設(shè)備等,此類(lèi)設(shè)備一般均設(shè)有局部排風(fēng)設(shè)施，即第5。5.1條第3款所稱、防擴(kuò)散措施、有的設(shè)備還配帶有專用尾氣、排氣，處理設(shè)備、對(duì)所排出的高濃度有害氣體或有毒或可燃?xì)怏w進(jìn)行處理后.才能經(jīng)過(guò)潔凈廠房中設(shè)置的相關(guān)排氣系統(tǒng)排出 3。由于電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的需要。某些設(shè)備必須跨越不同空氣潔凈度等級(jí)的潔凈室 區(qū).時(shí).應(yīng)采取固定隔斷或潔凈空氣幕等可靠的密封隔斷措施.4、為保護(hù)潔凈室,區(qū)、內(nèi)工作人員的身體健康。本規(guī)范第3,2，5條規(guī)定了潔凈室,區(qū)，內(nèi)噪聲容許值，因此安裝在潔凈室,區(qū),內(nèi)的設(shè)備應(yīng)選用符合要求的低噪聲設(shè)備.但由于電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程或設(shè)備設(shè)計(jì),運(yùn)行條件的限制,所選設(shè)備超過(guò)潔凈室噪聲容許值時(shí).應(yīng)根據(jù)具體工程項(xiàng)目的實(shí)際條件采取相應(yīng)的隔聲措施,如操作間隔聲。隔聲值班室，隔聲罩.隔聲屏等.5。5、5、本條的規(guī)定是對(duì)潔凈室。區(qū) 電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中,存放 傳送各種材料，中間產(chǎn)品或零部件使用的專用容器的設(shè)計(jì)、制作及其材料等的基本要求.由于電子產(chǎn)品種類(lèi)繁多.它們?cè)谏a(chǎn)過(guò)程的存放.傳送條件和要求有較大差異.所以本條是推薦性條文、對(duì)于某些電子產(chǎn)品如集成電路的芯片生產(chǎn)用專用容器應(yīng)遵循本條文的1。4款的規(guī)定.并且由于芯片的集成度的不同或運(yùn)送的材料，中間產(chǎn)品的狀態(tài)不同.專用容器中充填的氮?dú)饧兌纫笠矔?huì)有所不同 而對(duì)另一些電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程用專用容器,只需按其生產(chǎn)工藝特點(diǎn)遵循本條中的相關(guān)規(guī)定。5。5。6.本條為強(qiáng)制性條文、其編寫(xiě)的依據(jù)是、1、電子工業(yè)潔凈廠房中常常設(shè)置有各種類(lèi)型的真空泵.用于電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中的抽真空或用于排氣等，是生產(chǎn)工藝設(shè)備的輔助設(shè)備或就是生產(chǎn)工藝設(shè)備的一部分,各種類(lèi)型的真空泵一般安裝在潔凈室 區(qū).內(nèi)的生產(chǎn)設(shè)備鄰近處或配套組裝在生產(chǎn)工藝設(shè)備上,有的則安裝在潔凈室,區(qū)，的輔助生產(chǎn)間或技術(shù)支持區(qū)內(nèi) 為了確保潔凈室。區(qū).的正常生產(chǎn)，避免安全事故的發(fā)生,應(yīng)對(duì)設(shè)置在潔凈室，區(qū)、內(nèi)的有油潤(rùn)滑的真空泵.輸送含有可燃?xì)怏w的真空泵、傳輸易燃，自燃化學(xué)品或高濃度含氧氣體或氧化性化學(xué)品的真空泵等設(shè)置必須的安全技術(shù)措施，為此制定了本條的規(guī)定,2。參照美國(guó)消防協(xié)會(huì)、NFPA,標(biāo)準(zhǔn)NFPA、318、潔凈室消防標(biāo)準(zhǔn).Standard.for，the procection，of,cleanroom，第8,6。1條和第8，6,2條規(guī)定.在本條中作出了相關(guān)規(guī)定、