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- 電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范 GB 50472-2008
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設計要求
- 4 總體設計
- 5 工藝設計
- 6 潔凈建筑設計
- 7 空氣凈化和空調(diào)通風設計
- 8 給水排水設計
- 9 純水供應
- 10 氣體供應
- 10.1 一般規(guī)定
- 10.2 常用氣體系統(tǒng)
- 10.3 干燥壓縮空氣系統(tǒng)
- 10.4 特種氣體系統(tǒng)
- 11 化學品供應
- 12 電氣設計
- 13 防靜電與接地設計
- 14 噪聲控制
- 15 微振控制
- 附錄A 各類電子產(chǎn)品生產(chǎn)對空氣潔凈度等級的要求
- 附錄B 電子產(chǎn)品生產(chǎn)間／工序的火災危險性分類舉例
- 附錄C 精密儀器、設備的容許振動值舉例
- 附錄D 潔凈室(區(qū))性能測試和認證
- 本規(guī)范用詞說明
- 條文說明
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10、3。干燥壓縮空氣系統(tǒng)10 3，1，潔凈廠房內(nèi)的干燥壓縮空氣系統(tǒng)應根據(jù)各類產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求 供氣量和供氣品質(zhì)等因素確定、并應符合下列規(guī)定 1。供氣規(guī)模應按產(chǎn)品生產(chǎn)所需供氣量和計入必要損耗量確定 并應設有一定的備用供氣量、2。供氣品質(zhì)應根據(jù)生產(chǎn)工藝對含水量，含油量。微粒粒徑及其濃度等要求確定,3 供氣系統(tǒng)可集中設置在潔凈廠房內(nèi)的供氣站或潔凈廠房外的綜合動力站,4，應選用能耗少,噪聲低的設備。宜選用無油潤滑空氣壓縮機.5 含水量要求嚴格時，宜選用加熱再生吸附干燥裝置 10、3、2。干燥壓縮空氣管道內(nèi)輸送露點低于,76,時,應采用內(nèi)壁電拋光低碳不銹鋼管或內(nèi)壁電拋光不銹鋼管，露點低于、40.時 宜采用不銹鋼管或熱鍍鋅無縫鋼管,閥門宜采用波紋管閥或球閥 10 3、3。管道連接應符合下列規(guī)定。1，宜采用焊接、不銹鋼管應采用氬弧焊，2.含水量露點嚴于，40、時，用于管道連接的密封材料宜采用金屬墊或聚四氟乙烯墊，3、當采用軟管連接時.宜采用金屬軟管。