5。3 人員凈化5,3,1,5,3,2。電子工業(yè)潔凈廠房,由于電子產(chǎn)品品種、規(guī)格。產(chǎn)量的不同,其潔凈室的規(guī)模和空氣潔凈度等級要求差異較大,如現(xiàn)今的大規(guī)模集成電路用潔凈廠房或TFT,LCD用潔凈廠房的建筑面積一般均在幾萬平方米、空氣潔凈度等級為1 3級或4,5級,而印制電路版生產(chǎn)用潔凈室的建筑面積一般只有幾百平方米,且有時還根據(jù)工藝布局要求需分多處設(shè)置,空氣潔凈度等級為7級或8級.為此,本規(guī)范只推薦一種人員凈化程序供設(shè)計(jì)參考,并規(guī)定、人員凈化用室和設(shè)施應(yīng)根據(jù)潔凈室的規(guī)模、空氣潔凈度等級設(shè)置、并應(yīng)設(shè)置生活用室,電子工業(yè)潔凈廠房中人員凈化用室。生活用室以及空氣吹淋室、氣閘室.潔凈工作服洗滌間和干燥間等均應(yīng)在具體工程項(xiàng)目設(shè)計(jì)時.根據(jù)實(shí)際情況和需要設(shè)置 5.3、3,潔凈廠房內(nèi)人員凈化用室和生活用室的建筑面積指標(biāo),按設(shè)計(jì)人數(shù)平均每人2、4m2是經(jīng)驗(yàn)數(shù)據(jù).在具體工程項(xiàng)目設(shè)計(jì)時.應(yīng)根據(jù)潔凈室的規(guī)模大小 潔凈室內(nèi)人數(shù)多少和空氣潔凈度等級等因素合理確定.一般情況下。潔凈室內(nèi)人數(shù)較多時采取推薦數(shù)據(jù)的下限。人數(shù)較少時采取上限 潔凈室規(guī)模較大時.一般可采取下限,5,3 5,電子工業(yè)潔凈廠房中,設(shè)置了空氣吹淋室的主要是6.9級的潔凈室.但有的潔凈室也未設(shè)空氣吹淋室.而空氣潔凈度等級為5級或嚴(yán)于5級的垂直單向流潔凈室設(shè)置空氣吹淋室的較少、設(shè)氣閘室的較多.關(guān)于空氣吹淋室對人員凈化作用的評價眾說紛紜、但根據(jù)測定數(shù)據(jù)表明,只要空氣吹淋室產(chǎn)品質(zhì)量符合標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定要求和管理得當(dāng)、它對進(jìn)入潔凈室人員的凈化效果是肯定的。為此.本條沒有規(guī)定潔凈廠房內(nèi)潔凈室 區(qū) 的入口處都應(yīng)設(shè)空氣吹淋室,而是對潔凈廠房空氣吹淋室的設(shè)計(jì),規(guī)定了4款要求,第1,4款.實(shí)際上是推薦6,9級潔凈室入口處宜設(shè)空氣吹淋室.具體工程項(xiàng)目中。若不設(shè)空氣吹淋室時,應(yīng)設(shè)氣閘室 作為潔凈室 區(qū),與非潔凈室 區(qū),的分隔和緩沖,5級或嚴(yán)于5級的垂直單向流潔凈室.區(qū),推薦設(shè)氣閘室.第2款、規(guī)定空氣吹淋室應(yīng)設(shè)在更換潔凈工作服后的相鄰場所。就是進(jìn)一步明確空氣吹淋室的氣閘作用。既分隔潔凈室.區(qū) 與非潔凈室 區(qū)。又能防止外部空氣進(jìn)入潔凈室、并使?jié)崈羰揖S持正壓狀態(tài),它是從非潔凈室.區(qū),更換潔凈工作服后經(jīng)空氣吹淋進(jìn)入潔凈室,區(qū)。第3款 其規(guī)定包含,潔凈室按最大班人數(shù)每30人設(shè)1臺單人空氣吹淋室.以此選用空氣吹淋室的數(shù)量、由于空氣吹淋室有多種形式、如單人吹淋室 多人吹淋室。通道式吹淋室等.所以潔凈室內(nèi)人數(shù)較少時可采用單人吹淋室.而人數(shù)較多時則應(yīng)采用多人吹淋室和多個并聯(lián)或通道式吹淋室等形式。潔凈室、區(qū),內(nèi)的工作人員超過5人時、為上下班人員進(jìn)出和管理方便、應(yīng)在空氣吹淋室一側(cè)設(shè)旁通門.5 3。6、潔凈廠房內(nèi)的人員凈化應(yīng)遵循由外至內(nèi)逐步潔凈的循序漸進(jìn)的原則 每個潔凈室的人員凈化路線都應(yīng)有合理的程序.應(yīng)避免已經(jīng)過凈化的部分又再被污染的情況發(fā)生.對于人員凈化用室和生活用室的空氣潔凈度等級要求、本條只規(guī)定.潔凈工作服更衣室的潔凈度等級、推薦低于相鄰潔凈室、區(qū).空氣潔凈度等級。當(dāng)設(shè)有潔凈工作服洗滌室時,其空氣潔凈度等級不宜低于8級、本條還要求。對于人員凈化用室和生活用室 可根據(jù)具體條件。送入經(jīng)過高效空氣過濾的潔凈空氣,從而減少人員攜帶污染物進(jìn)入潔凈室.區(qū),