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7 4?？諝鈨艋O(shè)備7、4.1，電子工業(yè)潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)的核心設(shè)備之一的空氣過(guò)濾器的正確選用和合理布置。是至關(guān)重要的、首先 應(yīng)遵循我國(guó)的相關(guān)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn) 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)合理選用空氣過(guò)濾器,包括空氣過(guò)濾器的處理風(fēng)量，效率。阻力 材質(zhì)和檢測(cè)方法 含檢漏方法.等 其次，根據(jù)具體工程項(xiàng)目的產(chǎn)品生產(chǎn)要求和凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì) 合理安排各類空氣過(guò)濾器的位置 在空調(diào)箱中，中效,高中效 空氣過(guò)濾器常安裝在正壓段，但近年來(lái)為了保持表冷器表面清潔。減少塵粒沉積。已有許多設(shè)計(jì)中在風(fēng)機(jī)前安裝中效空氣過(guò)濾器。圖7便是一例 鑒于目前我國(guó)的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)中還沒(méi)有去除化學(xué)污染物的空氣過(guò)濾器或其他去除裝置的標(biāo)準(zhǔn)。只能參照相關(guān)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行選用和布置。7.4，2 風(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組。FFU、是將風(fēng)機(jī)與高效過(guò)濾器,HEPA.或超高效過(guò)濾器。ULPA、組合在一起。構(gòu)成自身可提供推動(dòng)力的末端空氣凈化裝置 它由風(fēng)機(jī) 過(guò)濾器 機(jī)殼和電器控制等部分組成,FFU的主要技術(shù)性能包括風(fēng)量.一般以斷面風(fēng)速表示，余壓,能耗、效率.噪聲和控制方式等、目前國(guó)內(nèi)電子工業(yè)潔凈室應(yīng)用FFU越來(lái)越多,不僅在大面積?？諝鉂崈舳纫髧?yán)格的單向流或混合流潔凈室。區(qū),采用 而且在各種用途的.面積不是很大的單向流或混合流潔凈室 區(qū) 中也有應(yīng)用，目前在應(yīng)用中受到各方面關(guān)注的主要是FFU裝置的經(jīng)濟(jì)性。投資。運(yùn)行費(fèi)，風(fēng)量和余壓，噪聲、能耗等性能參數(shù)，表21是對(duì)國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的幾個(gè)制造廠家生產(chǎn)的FFU裝置的實(shí)測(cè)性能參數(shù)、從表21中數(shù)據(jù)可見(jiàn)，4種同樣風(fēng)速 風(fēng)量下的FFU裝置,余壓 能耗相差較大,單臺(tái)噪聲均在60dB、A.以下、但是數(shù)十臺(tái),數(shù)百臺(tái)甚至上千臺(tái)FFU裝置安裝后的疊加噪聲將是不同的，據(jù)初步估算。為了達(dá)到本規(guī)范規(guī)定的單向流 混合流潔凈室噪聲不超過(guò)65dB A 空態(tài)。的要求，F(xiàn)FU在斷面風(fēng)速為0。45m.s的條件下,其余壓大于100Pa時(shí)。單臺(tái)FFU裝置的噪聲應(yīng)為50dB,A 左右?；谏鲜銮闆r。本條對(duì)電子工業(yè)潔凈廠房中FFU裝置的設(shè)置,提出了5款基本要求、7、4，5 干表冷器是以中溫水為冷媒的空氣換熱設(shè)備.其功能只要求空氣降溫，不需去濕。即無(wú)凝結(jié)水析出、在與FFU聯(lián)合使用時(shí)、干表冷器設(shè)置在FFU回風(fēng)的通道上,其冷媒的進(jìn)水溫度應(yīng)計(jì)算確定,通過(guò)的風(fēng)速不宜過(guò)高.一般應(yīng)小于2m、s、干表冷器的風(fēng)阻力不應(yīng)太大，應(yīng)在30.40Pa左右.在正常運(yùn)行時(shí)雖無(wú)凝結(jié)水析出 但是為了安全，最好還應(yīng)設(shè)置滴水盤(pán)或其他排水措施，7,4 6.空氣處理機(jī)組是電子工業(yè)潔凈廠房?jī)艋照{(diào)系統(tǒng)的關(guān)鍵設(shè)備,它與舒適性空調(diào)系統(tǒng)中的空氣處理機(jī)組相比、首先應(yīng)做到氣密性好,既應(yīng)減少系統(tǒng)中的空氣往外泄漏 使能量消耗增加.又要防止,機(jī)組、周圍相對(duì)臟的空氣滲入，機(jī)組.增大各級(jí)過(guò)濾器的負(fù)荷 所以本條規(guī)定機(jī)組的漏風(fēng)率不得大于1、第二，為了做到空氣處理機(jī)組在運(yùn)行維護(hù)中 不易滲漏。散發(fā)微粒和便于擦拭、清潔.不僅整體結(jié)構(gòu)應(yīng)耐壓具有足夠強(qiáng)度和剛度 而且內(nèi)表面應(yīng)乎整,光滑,并應(yīng)具有較好的保溫和防冷橋的性能,第三、潔凈室設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)表明。潔凈廠房能量消耗大、其中凈化空調(diào)系統(tǒng)及其冷熱源設(shè)備又是能量消耗大戶，送風(fēng)量大是能量消耗大的主要源頭 降低送風(fēng)量有多項(xiàng)技術(shù)措施.在凈化空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)確定送風(fēng)量的情況下.隨著電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中生產(chǎn)工藝設(shè)備開(kāi)啟數(shù)量和負(fù)荷率的變化，室內(nèi)外溫濕度的變化等因素的變化 都可能需要調(diào)節(jié)送風(fēng)量 另外、凈化空調(diào)系統(tǒng)中的初 中、高效過(guò)濾器的阻力是不斷變化的,為此送風(fēng)機(jī)采取變頻變速措施，可調(diào)節(jié)風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)數(shù)。調(diào)節(jié)送風(fēng)量，減少電能消耗.是潔凈廠房的重要節(jié)能措施之一.但是送風(fēng)機(jī)的變頻變速措施的設(shè)置、一定要結(jié)合具體工程項(xiàng)目的實(shí)際情況,合理進(jìn)行選擇.