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- 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范 GB 50472-2008
- 條文說明
- 1 總 則
- 3 電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計(jì)要求
- 4 總體設(shè)計(jì)
- 5 工藝設(shè)計(jì)
- 6 潔凈建筑設(shè)計(jì)
- 7 空氣凈化和空調(diào)通風(fēng)設(shè)計(jì)
- 8 給水排水設(shè)計(jì)
- 9 純水供應(yīng)
- 10 氣體供應(yīng)
- 11 化學(xué)品供應(yīng)
- 11.1 一般規(guī)定
- 11.2 化學(xué)品儲(chǔ)存、輸送
- 11.3 管材、閥門
- 12 電氣設(shè)計(jì)
- 13 防靜電與接地設(shè)計(jì)
- 14 噪聲控制
- 15 微振控制
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11.化學(xué)品供應(yīng)11、1，一般規(guī)定11。1.1。電子工業(yè)潔凈廠房常常需使用各種化學(xué)品.根據(jù)電子產(chǎn)品品種及其生產(chǎn)工藝的不同、各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)所使用的化學(xué)品是不相同的，其中以集成電路芯片制造過程，TFT，LCD生產(chǎn)過程所需的化學(xué)品品種多,有的純度要求嚴(yán)格,表25是這兩種電子產(chǎn)品生產(chǎn)用潔凈廠房內(nèi)所用的主要化學(xué)品種類，表26是有關(guān)資料提出的集成電路芯片64M生產(chǎn)過程部分化學(xué)品的質(zhì)量要求，11、1.2。電子工業(yè)潔凈廠房所用化學(xué)品如表25所列品種較多。它們的分類、儲(chǔ)存應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)、常用危險(xiǎn)化學(xué)品的分類及標(biāo)志 GB。13690.常用危險(xiǎn)化學(xué)品貯存通則、GB，15603等的相關(guān)規(guī)定，危險(xiǎn)化學(xué)品按主要危險(xiǎn)特性分為8類，即第1類爆炸品。第2類壓縮氣體和液化氣體.第3類易燃液體 第4類易燃固體,自燃物品和遇濕易燃物品。第5類氧化劑和有機(jī)氧化物。第6類有毒品。第7類放射性物品。第8類腐蝕品，由于各類化學(xué)品的性質(zhì)不同.因此常用化學(xué)危險(xiǎn)品應(yīng)分區(qū)。分類。分庫儲(chǔ)存 并不得與禁忌物料混合儲(chǔ)存 儲(chǔ)存化學(xué)危險(xiǎn)品的建筑物不得有地下室或其他地下建筑 其耐火等級(jí).層數(shù).占地面積 安全疏散和防火間距 應(yīng)符合國家有關(guān)規(guī)定，