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10。氣體供應(yīng)10，1、一般規(guī)定10 1。1,潔凈廠房使用的氣體有常用氣體,干燥壓縮空氣及特種氣體三大類 根據(jù)各種電子產(chǎn)品品種及其生產(chǎn)工藝的不同 使用氣體的品種。純度及雜質(zhì)含量是不相同的.表22是幾類電子產(chǎn)品所需氣體品種 10.1.3，潔凈廠房所使用氣體的制備 純化，儲(chǔ)存及分配系統(tǒng)、除應(yīng)遵守本規(guī)范外,還應(yīng)遵守相關(guān)現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定.其中主要有 建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范。GB,50016.壓縮空氣站設(shè)計(jì)規(guī)范、GB。50029，氫氣站設(shè)計(jì)規(guī)范、GB 50177，氧氣站設(shè)計(jì)規(guī)范,GB，50030.工業(yè)金屬管道設(shè)計(jì)規(guī)范 GB，50316等，10、1 4，10，1.6,目前,各類電子工業(yè)潔凈廠房中、常用氣體管道的一次配管、均敷設(shè)在與用氣設(shè)備相關(guān)潔凈室、區(qū)、毗鄰的技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi),除壓縮空氣管道外.其他各類氣體管道不得穿過(guò)與其無(wú)關(guān)的房間或不使用這些氣體的房間。有時(shí)為布置的方便或可減少大量的管材，必須穿越時(shí)應(yīng)設(shè)套管或雙層管.以免運(yùn)行中這些氣體泄漏 由于此類無(wú)關(guān)房間未采取通風(fēng) 報(bào)警措施,易引起事故 特種氣體管道由于管徑較小。一般均采用相對(duì)集中敷設(shè),潔凈室,區(qū),內(nèi)的惰性及無(wú)危害性氣體管道及其管架宜暗敷或設(shè)置在便于檢查.維護(hù)的裝飾面板內(nèi)，可燃,有毒或有害氣體管道應(yīng)外露敷設(shè).可燃?xì)怏w,有毒氣體穿過(guò)潔凈室,區(qū)，墻或樓板處管道應(yīng)設(shè)套管、該套管內(nèi)的氣體管道不得有焊縫。以避免因焊縫質(zhì)量問(wèn)題,泄漏氣體后無(wú)法檢查,形成逐漸積聚.成為安全事故的隱患。10、1,7 電子工業(yè)潔凈廠房中。由于高純氣體管道內(nèi)輸送的氣體中雜質(zhì)含量都極低。一般氧含量都在10 6,10，10，水含量在10,5.10 9，而潔凈室生產(chǎn)環(huán)境中的氧濃度.水汽含量均在10.1以上、即高純氣體輸送管內(nèi)外的氧氣，水分的分壓差達(dá)105,1010.分壓差極大、根據(jù)國(guó)內(nèi)外許多研究試驗(yàn)和實(shí)際運(yùn)行都表明，高純氣體輸送過(guò)程中存在著被生產(chǎn)環(huán)境中的氣體或水分所污染的巨大潛在危險(xiǎn)、為此。防滲漏污染是高純氣體管路設(shè)計(jì)中必須認(rèn)真解決的技術(shù)措施,另外，在高純氣體管道施工安裝或檢修后或因故停氣恢復(fù)時(shí).管內(nèi)存在的各種雜質(zhì)氣體的吹掃或因停氣后不可避免地因管內(nèi)外分壓差而被污染、也需進(jìn)行吹掃置換達(dá)到所要求純度和雜質(zhì)容許含量，為了減少吹掃,置換時(shí)間 也要求高純氣體管路設(shè)計(jì)時(shí).必須采取相應(yīng)的技術(shù)措施,本條規(guī)定的3款規(guī)定正是這些技術(shù)措施的具體要求 它們是國(guó)內(nèi)外從事高純氣體設(shè)計(jì)，安裝和運(yùn)行的科技人員多年經(jīng)驗(yàn)的總結(jié),其中第2 3款作為強(qiáng)制性條文。是有關(guān)設(shè)計(jì)者必須遵守的規(guī)定、10 1,8,本條為電子工業(yè)潔凈廠房?jī)?nèi)設(shè)有可燃?xì)怏w管道時(shí).應(yīng)采取的安全技術(shù)措施。制定這些規(guī)定的理由是，1，在使用可燃?xì)怏w的潔凈室廠房?jī)?nèi)、為避免可燃?xì)怏w的泄漏引發(fā)燃燒.爆炸事故，一般是將管路上的閥門設(shè)置在閥門箱內(nèi)、此類閥門箱均設(shè)有氣體泄漏報(bào)警和事故排風(fēng)裝置,2、目前 在電子工業(yè)潔凈廠房中的氫氣或含氫可燃?xì)怏w等接至用氣設(shè)備.無(wú)明火、的支管和放散管、為防火回火引發(fā)事故,均設(shè)有阻火器 但除此之外的可燃?xì)怏w管道大部分沒(méi)有設(shè)阻火器 所以本條規(guī)定、宜設(shè)置阻火設(shè)施、