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- 電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范 GB 50472-2008
- 1 總 則
- 2 術 語
- 3 電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設計要求
- 4 總體設計
- 5 工藝設計
- 6 潔凈建筑設計
- 7 空氣凈化和空調(diào)通風設計
- 8 給水排水設計
- 9 純水供應
- 10 氣體供應
- 11 化學品供應
- 12 電氣設計
- 13 防靜電與接地設計
- 14 噪聲控制
- 15 微振控制
- 附錄A 各類電子產(chǎn)品生產(chǎn)對空氣潔凈度等級的要求
- 附錄B 電子產(chǎn)品生產(chǎn)間／工序的火災危險性分類舉例
- 附錄C 精密儀器、設備的容許振動值舉例
- 附錄D 潔凈室(區(qū))性能測試和認證
- D.1 通 則
- D.2 潔凈室(區(qū))性能測試要求
- D.3 潔凈室測試方法
- D.4 認 證
- D.5 記 錄
- 本規(guī)范用詞說明
- 條文說明
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D。4,認。證D。4 1。潔凈廠房性能測試認證前，應由業(yè)主與認證單位簽訂協(xié)議書,協(xié)議書中應明確檢測項目、測點位置及數(shù)量，測量要求和限值等。如測量空氣懸浮粒子濃度采樣點數(shù)，每次最少的空氣采樣量、采樣時間、每個采樣點的測量次數(shù) 測量時間間隔,被計數(shù)粒子的粒徑、以及粒子數(shù)的限值等，D，4，2 按協(xié)議書規(guī)定及本附錄第D，2節(jié)的要求，以及本附錄第D。3節(jié)的方法進行測試，若測試結果在規(guī)定的限值之內(nèi)。說明該潔凈室,區(qū),符合規(guī)定要求。若測試結果超過規(guī)定的限值，說明該潔凈室，區(qū)，不符合要求,應進行改進 在完成改進工作之后,應進行再認證，D.4,3，每次性能測試或再認證測試應作記錄，并提交性能合格或不合格的綜合報告。測試報告應包括下列內(nèi)容。1。測試機構的名稱,地址.2，測試日期和測試者簽名.3,執(zhí)行標準的編號及標準出版日期、4.被測試潔凈室，區(qū)、的地址，測試項目。測點的特定編號及坐標圖.5 被測潔凈室、區(qū) 的空氣潔凈度等級 被測粒徑.被測潔凈室。區(qū)，所處的狀態(tài) 氣流流型和靜壓差，全部采樣點坐標圖上注明所測的粒子濃度 6 測量用儀器的編號和標定證書。測試方法細則及測試中特殊情況 7、測試結果包括所有測試項目的記錄數(shù)據(jù).分析結論等.8.對異常測試值進行說明及數(shù)據(jù)處理 9,注明上次的測試日期,10、設施的測試檔案可作為下次檢測計劃的依據(jù),D。4.4 測試機構應提交潔凈室檢驗證書.再檢驗證書,