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10。氣體供應(yīng)10 1、一般規(guī)定10，1、1 潔凈廠房內(nèi)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)的需求使用各種不同類型的特種氣體，常用氣體.干燥壓縮空氣、其氣體品質(zhì)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求.10。1。2、常用氣體的供氣方式和供氣系統(tǒng) 應(yīng)根據(jù)氣體用量 氣體品質(zhì)和當(dāng)?shù)氐墓鉅顩r等因素。經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較后確定。10.1，3.潔凈廠房常用氣體 特種氣體的制備 儲存 分配系統(tǒng) 除應(yīng)符合本規(guī)范外 還應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)、建筑設(shè)計防火規(guī)范、GB50016 氫氣站設(shè)計規(guī)范、GB.50177和。氧氣站設(shè)計規(guī)范，GB、50030等的有關(guān)規(guī)定.10.1、4。潔凈廠房內(nèi)的氣體管道的干管.應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)。當(dāng)與水、電管線共架時 比空氣重的氣體管道宜設(shè)在水。電管線下部，比空氣輕的氣體管道宜設(shè)在水 電管線上部、10、1。5。潔凈室、區(qū)、內(nèi)的可燃氣體管道和有毒氣體管道應(yīng)明敷。穿過潔凈室 區(qū)。的墻壁或樓板處的管段應(yīng)設(shè)置套管,套管內(nèi)的管道不得有焊縫，套管與管道之間應(yīng)采取密封措施。10,1、6.可燃氣體管道和有毒氣體管道不得穿過不使用此類氣體的房間,當(dāng)必須穿過時應(yīng)設(shè)套管或雙層管。10，1 7。高純氣體管道設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定，1 管徑應(yīng)按氣體容許流量，壓力或生產(chǎn)工藝設(shè)備確定,管外徑不宜小于6mm，壁厚不宜小于1mm,2,不得出現(xiàn)不易吹除的.盲管。等死空間.3.管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置吹掃口和取樣口.10.1 8。潔凈廠房的可燃氣體管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置下列安全設(shè)施,1.可燃氣體管道設(shè)置閥門時應(yīng)設(shè)置閥門箱.閥門箱應(yīng)設(shè)置氣體泄漏報警和事故排風(fēng)裝置。報警裝置應(yīng)與相應(yīng)的事故排風(fēng)機聯(lián)鎖 2。接至用氣設(shè)備的支管和放散管，宜設(shè)置阻火設(shè)施,3、引至室外的放散管。應(yīng)設(shè)置防雷保護設(shè)施。4.應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施，10,1。9.氣體過濾器應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對氣體潔凈度的要求進行選擇和配置，終端氣體過濾器應(yīng)設(shè)置在靠近用氣點處，