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- 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范 GB 50472-2008
- 條文說明
- 1 總 則
- 3 電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計要求
- 4 總體設(shè)計
- 5 工藝設(shè)計
- 6 潔凈建筑設(shè)計
- 7 空氣凈化和空調(diào)通風設(shè)計
- 8 給水排水設(shè)計
- 9 純水供應(yīng)
- 10 氣體供應(yīng)
- 11 化學品供應(yīng)
- 12 電氣設(shè)計
- 13 防靜電與接地設(shè)計
- 14 噪聲控制
- 15 微振控制
- 15.1 一般規(guī)定
- 15.2 容許振動值
- 15.3 微振動控制設(shè)計
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15。微振控制15.1、一般規(guī)定影響潔凈廠房內(nèi)精密設(shè)備 儀器的微振控制設(shè)施不能達到微振動容許值的因素主要有.環(huán)境的干擾振動.潔凈廠房內(nèi)公用動力系統(tǒng)、凈化空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)備 管道在運轉(zhuǎn)過程中產(chǎn)生的振動等,潔凈廠房的建筑基礎(chǔ)構(gòu)造、結(jié)構(gòu)選型.隔振縫的設(shè)置等能否滿足微振控制要求。微振動控制設(shè)施中所采取的主動隔振措施。被動隔振措施的準確性等。微振控制設(shè)施的工程設(shè)計 施工,測試和實際運轉(zhuǎn)的實踐表明 潔凈廠房的精密設(shè)備.儀器的微振控制設(shè)施的設(shè)計,應(yīng)分階段進行。這里所謂的分階段進行微振控制設(shè)施的設(shè)計是根據(jù)微振動測試所得到的數(shù)據(jù)進行分析研究后作為設(shè)計依據(jù)。按具體項目工程設(shè)計的要求，一般是按2 3階段進行精密設(shè)備.儀器的微振控制設(shè)計工作,一是按場地環(huán)境測試數(shù)據(jù)和精密設(shè)備,儀器的微振控制要求、合理進行所在潔凈廠房的總平面布置和建筑基礎(chǔ)以及隔振措施的設(shè)計，二是根據(jù)建筑結(jié)構(gòu)振動特性測試和精密設(shè)備安裝地點環(huán)境振動測試及其分析研究結(jié)果、合理 準確地進行微振控制設(shè)施的設(shè)計，三是在微振控制設(shè)備的最終測試和分析研究后 若微振控制設(shè)施沒有達到控制要求時.尚需進行調(diào)整設(shè)計、