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- 電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范 GB 50472-2008
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設計要求
- 4 總體設計
- 5 工藝設計
- 6 潔凈建筑設計
- 7 空氣凈化和空調(diào)通風設計
- 8 給水排水設計
- 9 純水供應
- 10 氣體供應
- 11 化學品供應
- 12 電氣設計
- 13 防靜電與接地設計
- 14 噪聲控制
- 15 微振控制
- 15.1 一般規(guī)定
- 15.2 容許振動值
- 15.3 微振動控制設計
- 附錄A 各類電子產(chǎn)品生產(chǎn)對空氣潔凈度等級的要求
- 附錄B 電子產(chǎn)品生產(chǎn)間／工序的火災危險性分類舉例
- 附錄C 精密儀器、設備的容許振動值舉例
- 附錄D 潔凈室(區(qū))性能測試和認證
- 本規(guī)范用詞說明
- 條文說明
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15，微振控制15。1、一般規(guī)定15.1、1、潔凈廠房的微振控制設施的設計應分階段進行。應包括設計.施工和投產(chǎn)等各階段的微振動測試 廠房建筑結(jié)構(gòu)微振控制設計,動力設備隔振設計和精密儀器設備隔振設計等，15,1,2 設計有微振控制要求的潔凈廠房時、應符合下列規(guī)定 1,總平面布置時.應核實相鄰廠房，建筑物或構(gòu)筑物對精密設備。儀器的振動影響、2 設有精密設備。儀器的潔凈廠房 其建筑基礎構(gòu)造.結(jié)構(gòu)選型。隔振縫的設置，潔凈室裝修等應按微振控制要求設計。3,對設有精密設備,儀器的潔凈室,區(qū),有振動影響的動力設備及其管道.應采取主動隔振措施.4 潔凈室，區(qū).內(nèi)精密設備。儀器.經(jīng)測試確認受到周圍振動影響時，應采取被動隔振措施.