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15、3 微振動控制設(shè)計15.3.1，電子工業(yè)潔凈廠房中微振控制設(shè)計,應(yīng)按圖10所示的程序進行。工程實踐表明、該程序是電子工廠,特別是微電子工廠潔凈廠房中微振控制設(shè)計的有效程序 圖中指出的四次測試就是本條制定的依據(jù)、15，3,2,有微振控制要求的潔凈室。區(qū)。的建筑結(jié)構(gòu)設(shè)計是微振控制設(shè)計的重要部分,實踐表明。大量的環(huán)境振動能量是通過建筑結(jié)構(gòu)傳遞到精密設(shè)備.儀器的基礎(chǔ)底部,所以建筑結(jié)構(gòu)的微振動控制設(shè)計的基本要求是。建筑物的基礎(chǔ)應(yīng)盡可能地置于堅硬土層上或置于動力特性良好的地基上.并且基礎(chǔ)應(yīng)具有足夠的剛度,設(shè)置獨立的建筑結(jié)構(gòu)微振動控制體系,并與廠房主體結(jié)構(gòu)脫開。減少廠房主體結(jié)構(gòu)振動的影響、廠房的主體結(jié)構(gòu)還應(yīng)根據(jù)微振動控制的需要、在可能情況下。適當增大結(jié)構(gòu)截面尺寸、增加整體建筑的剛度，建筑結(jié)構(gòu)微振動控制體系的內(nèi)容,隨不同電子產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝要求有所不同,如集成電路芯片生產(chǎn)用潔凈廠房的建筑結(jié)構(gòu)微振動控制體系包括,獨立于廠房主體結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)、一般采用深基礎(chǔ)或復合地基.以確?；A(chǔ)具有足夠剛度和較少沉降量，設(shè)置防微振平臺 該平臺與主體結(jié)構(gòu)脫開.并應(yīng)具有較大的質(zhì)量及較好的剛度，平臺下支撐柱一般采用較小的柱距,在防微振平臺下、一般設(shè)必要的防微振墻，以減弱水平向振動的傳遞.微振動控制體系底部一般設(shè)置厚重地面層等，根據(jù)上述要求和工程實踐制定本條規(guī)定、15、3、3。15 3 4，對潔凈廠房內(nèi)的各類振源進行積極隔振、以減少它們對潔凈室 區(qū)，內(nèi)的精密設(shè)備.儀器的振動影響,是潔凈廠房設(shè)計的重要內(nèi)容之一、潔凈廠房內(nèi)的振源形式大體有，沖擊型。沖床、各類介質(zhì)輸送管道等，往復型 各種壓縮機等,旋轉(zhuǎn)型、通風機 離心式壓縮機.泵。電動機等，對它們的隔振措施設(shè)計包括隔振元件的選用，隔振臺座的形式和構(gòu)造的設(shè)計 靜力計算及振動計算等。對精密設(shè)備.儀器采用隔振器隔振 以減弱支承結(jié)構(gòu)傳遞的振動影響，達到容許振動值的要求。這被稱為消極隔振 根據(jù)近年來微振控制設(shè)計,測試.建造的工程實踐。制定了本條規(guī)定，