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5 5，設(shè)備及工器具5 5。1 潔凈室,區(qū)、內(nèi)應(yīng)采用具有防塵,防污染的生產(chǎn)設(shè)備和輔助生產(chǎn)設(shè)備。并應(yīng)符合下列要求，1、表面應(yīng)光潔。易清潔 不積塵,不揮發(fā)化學(xué)物質(zhì) 2。設(shè)備的傳動(dòng)部件等應(yīng)密封性能好 并應(yīng)防止?jié)櫥?。冷卻劑等的泄漏.3 對(duì)生產(chǎn)中發(fā)塵 排熱量大或排出有毒，可燃?xì)怏w的設(shè)備,應(yīng)采取防擴(kuò)散措施。4 設(shè)備的金屬外殼應(yīng)設(shè)置接地設(shè)施，5.5。2、當(dāng)設(shè)備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級(jí)的潔凈室、區(qū)。時(shí),宜采取密封隔斷措施。5，5、3、潔凈室 區(qū).內(nèi)的設(shè)備宜選用低噪聲產(chǎn)品。當(dāng)所選設(shè)備超過(guò)潔凈室噪聲容許值時(shí)，應(yīng)采取隔聲措施 5。5，4.潔凈室、區(qū)、應(yīng)設(shè)置對(duì)電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程所使用的工器具進(jìn)行凈化處理的設(shè)施，5、5、5。潔凈室.區(qū)，內(nèi)。電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中各種零、部件存放和傳送，宜采用專(zhuān)用容器，用于存放和傳送的專(zhuān)用容器。應(yīng)符合下列規(guī)定、1。制作材料應(yīng)光潔，不吸濕，不銹蝕，不散發(fā)污染物，防靜電.并在空氣中不應(yīng)被氧化。2.應(yīng)密封性能好 3.當(dāng)存放物有嚴(yán)格的潔凈度要求時(shí)。宜充填高純度或干燥氮?dú)?4。構(gòu)造，外形應(yīng)滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝要求 并應(yīng)方便操作和運(yùn)送。5 5.6,潔凈室.區(qū)，內(nèi)設(shè)置真空泵時(shí)。應(yīng)符合下列規(guī)定 1 使用油潤(rùn)滑的真空泵應(yīng)設(shè)置除油裝置，除油后尾氣應(yīng)排入排氣系統(tǒng)，2。對(duì)傳輸含有可燃?xì)怏w的真空泵 可燃?xì)怏w濃度超過(guò)爆炸下限的20 時(shí)，應(yīng)設(shè)尾氣處理裝置 在排入排氣系統(tǒng)前應(yīng)去除或稀釋可燃?xì)怏w組分，3，傳輸易燃。自燃化學(xué)品或高濃度氧氣的真空泵。應(yīng)采用不燃泵油 并應(yīng)配置氮?dú)獯祾?氮?dú)獯祾呖刂崎y應(yīng)與生產(chǎn)工藝設(shè)備操作系統(tǒng)聯(lián)鎖.