9,純水供應(yīng)9.1、一般規(guī)定9、1.1。電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)中純水供應(yīng)是重要內(nèi)容之一.各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對(duì)純水水質(zhì)、水量要求均不相同、在中國(guó)電子級(jí)水的技術(shù)指標(biāo)中.僅電阻率一項(xiàng)指標(biāo),EW,1級(jí)水為18MΩ.cm以上,而EW、4級(jí)水只為0.5MΩ。cm。相差36倍。在美國(guó)試驗(yàn)與材料協(xié)會(huì)、ASTM.D5127。電子及半導(dǎo)體工業(yè)用純水水質(zhì)要求、中E,1級(jí),E,4級(jí)的電阻率指標(biāo)也是這樣。并且對(duì)各等級(jí)純水中離子濃度要求相差更大.如Na離子。E、1級(jí)為0.05μg L。E、1.2級(jí)為0,005μg,L.E、3級(jí)為5μg.L.E 4級(jí)為1000μg.L,E.1級(jí)與E.4級(jí)相差20000倍 各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)用水量的差異也是很大的。一些電子產(chǎn)品組裝廠或電子元件工廠的純水用量在5t,h以下,而TFT、LCD潔凈廠房的純水用量達(dá)500 1000t.h 純水系統(tǒng)的原水水質(zhì)因各地區(qū) 城市的水源不同相差很大 有的城市以河水為水源 即使是河水、其河水的源頭和沿途流經(jīng)地區(qū)的地質(zhì)。地貌不同,水質(zhì)也是不同的 有的城市以井水為水源,井的深度不同.地域不同 地質(zhì)構(gòu)造不同均會(huì)千差萬(wàn)別,現(xiàn)在不少城市的水源包括河水,湖水 井水等、有的城市各個(gè)區(qū) 段供水水質(zhì)也不相同,所以純水系統(tǒng)的選擇,應(yīng)根據(jù)原水水質(zhì)的不同.差異很大,是否選擇原水預(yù)處理.預(yù)處理設(shè)備的種類。規(guī)模都與原水水質(zhì)有關(guān).因此.電子工業(yè)潔凈廠房的純水系統(tǒng)的選擇應(yīng)根據(jù)原水水質(zhì)和電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對(duì)水質(zhì)的要求.結(jié)合純水系統(tǒng)的產(chǎn)水量以及當(dāng)時(shí),當(dāng)?shù)氐募兯O(shè)備 材料供應(yīng)等情況,綜合進(jìn)行技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較確定 首先是技術(shù)上的可行。供水水質(zhì)的可靠。在此前提下,選用建設(shè)投資較少.運(yùn)行費(fèi)用低或建設(shè)投資回收年限較短的技術(shù)方案,9。1、4、電子工業(yè)潔凈廠房的潔凈室,區(qū)。內(nèi),一般不可避免地將會(huì)布置有純水支管或接至產(chǎn)品生產(chǎn)設(shè)備的純水管道、為了減少污染物的擴(kuò)散、發(fā)生.積聚和易于清潔,純水管道的保溫材料選擇時(shí).應(yīng)選用不產(chǎn)生污染物的材料,如橡塑保溫材料等.其外表面應(yīng)平整、光滑,宜外包保護(hù)層,