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- 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范 GB 50472-2008
- 條文說明
- 1 總 則
- 3 電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計要求
- 4 總體設(shè)計
- 5 工藝設(shè)計
- 6 潔凈建筑設(shè)計
- 7 空氣凈化和空調(diào)通風(fēng)設(shè)計
- 8 給水排水設(shè)計
- 9 純水供應(yīng)
- 10 氣體供應(yīng)
- 11 化學(xué)品供應(yīng)
- 11.1 一般規(guī)定
- 11.2 化學(xué)品儲存、輸送
- 11.3 管材、閥門
- 12 電氣設(shè)計
- 13 防靜電與接地設(shè)計
- 14 噪聲控制
- 15 微振控制
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11 化學(xué)品供應(yīng)11，1,一般規(guī)定11，1、1 電子工業(yè)潔凈廠房常常需使用各種化學(xué)品,根據(jù)電子產(chǎn)品品種及其生產(chǎn)工藝的不同。各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)所使用的化學(xué)品是不相同的，其中以集成電路芯片制造過程、TFT、LCD生產(chǎn)過程所需的化學(xué)品品種多，有的純度要求嚴(yán)格，表25是這兩種電子產(chǎn)品生產(chǎn)用潔凈廠房內(nèi)所用的主要化學(xué)品種類 表26是有關(guān)資料提出的集成電路芯片64M生產(chǎn)過程部分化學(xué)品的質(zhì)量要求,11。1.2，電子工業(yè)潔凈廠房所用化學(xué)品如表25所列品種較多.它們的分類 儲存應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn) 常用危險化學(xué)品的分類及標(biāo)志、GB，13690，常用危險化學(xué)品貯存通則，GB、15603等的相關(guān)規(guī)定，危險化學(xué)品按主要危險特性分為8類。即第1類爆炸品 第2類壓縮氣體和液化氣體、第3類易燃液體.第4類易燃固體，自燃物品和遇濕易燃物品、第5類氧化劑和有機氧化物。第6類有毒品。第7類放射性物品,第8類腐蝕品、由于各類化學(xué)品的性質(zhì)不同 因此常用化學(xué)危險品應(yīng)分區(qū) 分類 分庫儲存,并不得與禁忌物料混合儲存、儲存化學(xué)危險品的建筑物不得有地下室或其他地下建筑。其耐火等級.層數(shù).占地面積.安全疏散和防火間距，應(yīng)符合國家有關(guān)規(guī)定.