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- 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范 GB 50472-2008
- 條文說明
- 1 總 則
- 3 電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計要求
- 4 總體設(shè)計
- 5 工藝設(shè)計
- 6 潔凈建筑設(shè)計
- 7 空氣凈化和空調(diào)通風設(shè)計
- 8 給水排水設(shè)計
- 9 純水供應
- 10 氣體供應
- 11 化學品供應
- 12 電氣設(shè)計
- 13 防靜電與接地設(shè)計
- 14 噪聲控制
- 15 微振控制
- 15.1 一般規(guī)定
- 15.2 容許振動值
- 15.3 微振動控制設(shè)計
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- 安全防范工程通用規(guī)范[附條文說明] GB 55029-2022
- 建筑鋼結(jié)構(gòu)防火技術(shù)規(guī)范[附條文說明] GB 51249-2017
- 倒置式屋面工程技術(shù)規(guī)程[附條文說明] JGJ 230-2010
- 民用建筑工程室內(nèi)環(huán)境污染控制標準[附條文說明] GB 50325-2020
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15。2。容許振動值精密設(shè)備 儀器是微振控制設(shè)計的主要對象。當作用于精密設(shè)備、儀器的微振動超過一定的界限時。此類設(shè)備、儀器就無法進行正常的工作，不能按要求生產(chǎn)合格的產(chǎn)品或中間產(chǎn)品,這一界限就是微振動控制值或容許振動值.容許振動值是指保證精密儀器.設(shè)備正常工作條件下,其支撐結(jié)構(gòu)面的容許振動幅值、電子工業(yè)潔凈廠房內(nèi)的精密設(shè)備、儀器種類很多.它們都有各自的特性或所生產(chǎn)電子產(chǎn)品的不同精度有其特定的容許振動值。如集成電路生產(chǎn)的光刻機,圖像發(fā)生器。光導纖維生產(chǎn)的光纖拉制機 TFT LCD生產(chǎn)的電子速曝光機,光刻機等，精密設(shè)備.儀器的容許振動值的物理量表達有多種 目前在微振控制設(shè)計時常用的有.振幅或容許振動位移量，μm。振動速度。量綱為mm。s，振動加速度.量綱為mm,s2，精密設(shè)備 儀器根據(jù)本身的使用特點采用不同的物理量進行微振控制設(shè)計。精密設(shè)備.儀器的容許振動值一般是通過試驗確定或在實際生產(chǎn)運行中的經(jīng)驗總結(jié)或?qū)崪y數(shù)據(jù)，這些值與設(shè)備.儀器的特性和產(chǎn)品工藝要求關(guān)系密切 目前微振控制設(shè)計時的容許振動值一般由生產(chǎn)工藝提供方或設(shè)備制造廠家按其用途提供這些數(shù)據(jù)。本規(guī)范附錄C列出一些精密設(shè)備。儀器的容許振動值供參考