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9。2，純水系統(tǒng)9、2。2.純水的制備、儲存和輸送設(shè)備的選型和制造材質(zhì)的選擇。除了應(yīng)充分滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對供水水質(zhì) 終端水質(zhì)的要求外 純水的制備.儲存和輸送設(shè)備的選型和材質(zhì)選擇、還應(yīng)充分考慮下列因素。1、純水是一種極好的溶劑 為了確保在純水的制備,儲存和輸送過程中純水水質(zhì)下降最小 必須選擇化學(xué)穩(wěn)定性極好的材料.這些材料在所處的純水中的溶出物最小 各類材料的溶出物多少應(yīng)以材料的溶出試驗確定，主要包括金屬離子、有機(jī)物的溶出。2。設(shè)備內(nèi)壁光潔度好。若內(nèi)壁有微小的凹凸 會造成微粒的沉積和微生物的繁殖,導(dǎo)致微粒和細(xì)菌兩項指標(biāo)的不合格。不銹鋼內(nèi)壁光潔度可達(dá)幾微米至幾十微米。內(nèi)襯PVDF的內(nèi)壁光潔度可達(dá)1μm以下,3,設(shè)備內(nèi)壁以及接管處應(yīng)平整、光滑，以防止產(chǎn)生流水的渦流區(qū)、避免污染物積聚。4。設(shè)備內(nèi)不應(yīng)有,死水區(qū)。存水彎，等可能形成不流動水的。死角 盲點.等.防止水質(zhì)降低。避免微生物的滋生、5，純水的儲罐等設(shè)備的上部空間，為防止發(fā)生滲氣現(xiàn)象等。應(yīng)充以純氮保護(hù) 6。應(yīng)設(shè)有檢查口 清洗口 以便對設(shè)備進(jìn)行定期檢查.清洗。防止長期運(yùn)行后、內(nèi)壁產(chǎn)生沉積物及微生物積聚使水質(zhì)下降。為此 本條作了純水的制備 儲存和輸送設(shè)備。應(yīng)符合電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的要求、并應(yīng)符合規(guī)定的三款要求,9，2，3。電子工業(yè)潔凈廠房的純水系統(tǒng)設(shè)計和運(yùn)行經(jīng)驗表明、采用純水循環(huán)供水方式是確保純水水質(zhì)的安全。方便和可靠的方法。也是目前各類電子工業(yè)潔凈廠房純水系統(tǒng)的實際設(shè)置狀況,圖8是單管式循環(huán)供水系統(tǒng)和有獨(dú)立回水管的雙管式循環(huán)供水系統(tǒng),在集成電路芯片生產(chǎn)等對純水水質(zhì)要求嚴(yán)格的電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝用純水供水系統(tǒng)，目前均采用雙管式循環(huán)供水系統(tǒng) 為了確保電子產(chǎn)品生產(chǎn)所需純水水質(zhì) 本條作了七款詳細(xì)的規(guī)定.并且有三款是電子工業(yè)潔凈廠房中設(shè)有純水系統(tǒng)時。其純水系統(tǒng)的設(shè)計 建造時需強(qiáng)制執(zhí)行的規(guī)定