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- 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范 GB 50472-2008
- 條文說明
- 1 總 則
- 3 電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計要求
- 4 總體設(shè)計
- 5 工藝設(shè)計
- 6 潔凈建筑設(shè)計
- 7 空氣凈化和空調(diào)通風(fēng)設(shè)計
- 8 給水排水設(shè)計
- 9 純水供應(yīng)
- 10 氣體供應(yīng)
- 11 化學(xué)品供應(yīng)
- 12 電氣設(shè)計
- 13 防靜電與接地設(shè)計
- 14 噪聲控制
- 15 微振控制
- 15.1 一般規(guī)定
- 15.2 容許振動值
- 15.3 微振動控制設(shè)計
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15,微振控制15、1.一般規(guī)定影響潔凈廠房內(nèi)精密設(shè)備。儀器的微振控制設(shè)施不能達(dá)到微振動容許值的因素主要有.環(huán)境的干擾振動、潔凈廠房內(nèi)公用動力系統(tǒng),凈化空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)備.管道在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中產(chǎn)生的振動等.潔凈廠房的建筑基礎(chǔ)構(gòu)造 結(jié)構(gòu)選型 隔振縫的設(shè)置等能否滿足微振控制要求 微振動控制設(shè)施中所采取的主動隔振措施。被動隔振措施的準(zhǔn)確性等、微振控制設(shè)施的工程設(shè)計 施工 測試和實(shí)際運(yùn)轉(zhuǎn)的實(shí)踐表明。潔凈廠房的精密設(shè)備。儀器的微振控制設(shè)施的設(shè)計.應(yīng)分階段進(jìn)行，這里所謂的分階段進(jìn)行微振控制設(shè)施的設(shè)計是根據(jù)微振動測試所得到的數(shù)據(jù)進(jìn)行分析研究后作為設(shè)計依據(jù)、按具體項(xiàng)目工程設(shè)計的要求,一般是按2,3階段進(jìn)行精密設(shè)備 儀器的微振控制設(shè)計工作。一是按場地環(huán)境測試數(shù)據(jù)和精密設(shè)備,儀器的微振控制要求,合理進(jìn)行所在潔凈廠房的總平面布置和建筑基礎(chǔ)以及隔振措施的設(shè)計、二是根據(jù)建筑結(jié)構(gòu)振動特性測試和精密設(shè)備安裝地點(diǎn)環(huán)境振動測試及其分析研究結(jié)果,合理。準(zhǔn)確地進(jìn)行微振控制設(shè)施的設(shè)計，三是在微振控制設(shè)備的最終測試和分析研究后。若微振控制設(shè)施沒有達(dá)到控制要求時、尚需進(jìn)行調(diào)整設(shè)計、