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- 電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范 GB 50472-2008
- 1 總 則
- 2 術 語
- 3 電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設計要求
- 4 總體設計
- 5 工藝設計
- 6 潔凈建筑設計
- 7 空氣凈化和空調(diào)通風設計
- 8 給水排水設計
- 9 純水供應
- 9.1 一般規(guī)定
- 9.2 純水系統(tǒng)
- 9.3 管材、閥門和附件
- 10 氣體供應
- 11 化學品供應
- 12 電氣設計
- 13 防靜電與接地設計
- 14 噪聲控制
- 15 微振控制
- 附錄A 各類電子產(chǎn)品生產(chǎn)對空氣潔凈度等級的要求
- 附錄B 電子產(chǎn)品生產(chǎn)間／工序的火災危險性分類舉例
- 附錄C 精密儀器、設備的容許振動值舉例
- 附錄D 潔凈室(區(qū))性能測試和認證
- 本規(guī)范用詞說明
- 條文說明
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9 2。純水系統(tǒng)9，2 1.純水系統(tǒng)的設備配置除應滿足所需水量和水質(zhì)的要求外.還應滿足運行靈活 安全可靠,便于操作管理 運行費用低等要求,9,2 2 純水的制備、儲存和輸送設備,應符合電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的要求 并應符合下列規(guī)定。1 純水的制備、終端處理設備的選型和制造材料的選擇，應滿足供水水質(zhì)、終端水質(zhì)的要求,2 純水儲罐、輸送設備的選型和制造材料的選擇.應確保水質(zhì)污染少,密封性好，不得有滲氣現(xiàn)象 3、純水制備.儲存 輸送設備應有效地防止水質(zhì)降低.9 2,3 純水系統(tǒng)應采用循環(huán)供水方式。宜采用單管式循環(huán)供水系統(tǒng)或設有獨立回水管的雙管式循環(huán)供水系統(tǒng)、并應符合下列規(guī)定 1、循環(huán)回流水量應大于設計供水量的30 2，干管流速應大于等于1.5m s 3、不循環(huán)支管的長度不應大于管徑的6倍.4，干管應設置清洗口.5，管道系統(tǒng)必須密封、不得有滲氣現(xiàn)象、6、應配備在線水質(zhì)檢測儀表 7，對純水水質(zhì)要求嚴格的電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝、應采用雙管式循環(huán)供水系統(tǒng) 9。2.4，純水系統(tǒng)中與純水直接接觸的設備表面應光潔，平整,化學性質(zhì)穩(wěn)定,耐腐蝕。易清洗。易消毒。9，2 5 用于純水系統(tǒng)的水質(zhì)檢測設備、量具、儀表。其連接不應使純水水質(zhì)降低，其檢測范圍和精度應符合純水生產(chǎn)和檢驗的要求。9、2,6,純水精處理或終端處理裝置宜靠近用水生產(chǎn)設備設置。