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7.2，氣流流型和送風(fēng)量7.2。1。氣流流型的確定應(yīng)充分考慮的因素有 滿足空氣潔凈度等級要求.一次建設(shè)投資,運行維護費?？諝膺^濾器等更換方便等.本條推薦的潔凈室。區(qū),內(nèi)氣流流型的設(shè)計要求、是基于數(shù)十年電子工廠潔凈廠房工作實踐的經(jīng)驗總結(jié)。并結(jié)合國際標(biāo)準(zhǔn)化組織ISO。TC.209技術(shù)委員會已經(jīng)頒布，實施的。潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境標(biāo)準(zhǔn) IS0、14644、1、IS0,14644.4中有關(guān)氣流流型的要求和近年來國內(nèi)建成投產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房所采用的氣流流型的實際狀況制定的 圖4是IS0.14644。4中對潔凈室氣流流型的圖示。表19是一些電子工業(yè)潔凈廠房的氣流流型。上述情況表明。空氣潔凈度等級為1、5級時,基本上采用單向流或混合流?？諝鉂崈舳鹊燃墳? 9級時、基本上采用非單向流、且混合流流型可應(yīng)用于所有各種空氣潔凈度等級的潔凈室.7。2。2，潔凈室的送風(fēng)量是保證空氣潔凈度等級的送風(fēng)量,應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn),潔凈廠房設(shè)計規(guī)范,GB.50073,2001中第6.3。2的規(guī)定 7，2，3、制定本條的依據(jù)是、1 表20是根據(jù)國際標(biāo)準(zhǔn)化組織ISO.TC，209技術(shù)委員會編寫 發(fā)布的。潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境標(biāo)準(zhǔn) ISO，14644.4.潔凈室的設(shè)計，建造和試運行 中的表B,2微電子潔凈室的實例 列出了空氣潔凈度等級為2,8級的氣流流型、潔凈送風(fēng)量的數(shù)據(jù) 注.在制定最佳設(shè)計條件前.應(yīng)該詳細(xì)規(guī)定并商定與ISO等級有關(guān)的占用狀況 表列的氣流形式表示該等級潔凈室的氣流特性U為單向流,N為非單向流,M為混合氣流.U和N組合、平均氣流速度是通常規(guī)定潔凈室內(nèi)單向流的方法、對單向流速度的要求取決于局部的參數(shù).如幾何圖形和熱參數(shù).不一定是過濾器的面速度.每小時換氣次數(shù)是規(guī)定非單向流和混合氣流的方法。建議的換氣次數(shù)是指3，0m的室高度。應(yīng)考慮不透水的屏障技術(shù)、污染源和待保護的區(qū)域要有效地分隔開、可以用物理或氣流屏障，2 近年來。一些8、12，集成電路芯片生產(chǎn)用潔凈廠房中主要生產(chǎn)設(shè)備配置微環(huán)境裝置時 潔凈室采用Ballroom，微環(huán)境時.其潔凈廠房內(nèi)潔凈區(qū)的空氣潔凈度等級為5級或6級、氣流流型為非單向流.潔凈生產(chǎn)區(qū)送風(fēng)一般選用FFU、吊頂上FFU的滿布率為25.左右,微環(huán)境內(nèi)的空氣潔凈度等級為2 4級、3 單向流潔凈室的平均風(fēng)速下限值、在自動化。機械化程度很高的潔凈室，區(qū) 內(nèi)基本無人的情況下.有的潔凈室、區(qū)、僅采用0，11m s.