中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)硅集成電路芯片工廠設(shè)計規(guī)范Code、for、design.of,silicon,integrated。circuits,wafer,fabGB,50809.2012主編部門、中華人民共和國工業(yè)和信息化部批準(zhǔn)部門,中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部施行日期,2012年12月1日中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部公告第1497號、住房城鄉(xiāng)建設(shè)部關(guān)于發(fā)布國家標(biāo)準(zhǔn).硅集成電路芯片工廠設(shè)計規(guī)范。的公告?,F(xiàn)批準(zhǔn),硅集成電路芯片工廠設(shè)計規(guī)范,為國家標(biāo)準(zhǔn),編號為GB 50809 2012,自2012年12月1日起實施。其中,第5,2 1、5,3,1 8 2 4,8,3。11條為強制性條文,必須嚴(yán)格執(zhí)行.本規(guī)范由我部標(biāo)準(zhǔn)定額研究所組織中國計劃出版社出版發(fā)行,中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部2012年10月11日前。言、本規(guī)范是根據(jù)原建設(shè)部.關(guān)于印發(fā)的通知,第二批,建標(biāo),2008.105號,的要求,由信息產(chǎn)業(yè)電子第十一研究院科技工程股份有限公司會同有關(guān)單位共同編制完成、在規(guī)范編制過程中、編寫組根據(jù)我國硅集成電路芯片工廠的設(shè)計,建造和運行的實際情況、進行了大量調(diào)查研究、同時考慮我國目前集成電路生產(chǎn)的現(xiàn)狀.對國外的有關(guān)規(guī)范進行深入的研讀 廣泛征求了全國有關(guān)單位與個人的意見 并反復(fù)修改、最后經(jīng)審查定稿。本規(guī)范共分12章.主要內(nèi)容包括 總則。術(shù)語。工藝設(shè)計 總體設(shè)計,建筑與結(jié)構(gòu)、防微振、冷熱源,給排水及消防、電氣。工藝相關(guān)系統(tǒng)??臻g管理。環(huán)境安全衛(wèi)生等、本規(guī)范中以黑體字標(biāo)志的條文為強制性條文,必須嚴(yán)格執(zhí)行、本規(guī)范由住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部負(fù)責(zé)管理和對強制性條文的解釋。由工業(yè)和信息化部負(fù)責(zé)日常管理,由信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計研究院科技工程股份有限公司負(fù)責(zé)具體技術(shù)內(nèi)容的解釋 本規(guī)范在執(zhí)行過程中.請各單位結(jié)合工程實踐 認(rèn)真總結(jié)經(jīng)驗 如發(fā)現(xiàn)需要修改和補充之處。請將意見和建議寄至信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計研究院科技工程股份有限公司、硅集成電路芯片工廠設(shè)計規(guī)范,管理組。地址 四川省成都市雙林路251號。郵政編碼。610021,傳真,028.84333172.以便今后修訂時參考、本規(guī)范主編單位,參編單位.主要起草人和主要審查人 主編單位.信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計研究院科技工程股份有限公司.信息產(chǎn)業(yè)部電子工程標(biāo)準(zhǔn)定額站參編單位 中國電子工程設(shè)計院、中芯國際集成電路制造有限公司.上海華虹NEC微電子有限公司主要起草人,王毅勃,王明云 李驥,肖勁戈.江元升。黃華敬.何武 夏雙兵。陸崎.謝志雯,朱琳,劉娟,劉序忠、高艷敏.朱海英.徐小誠。劉姍宏主要審查人、陳霖新,薛長立,韓方俊.王天龍,劉志弘。彭力.劉嶸侃、李東升,毛煜林、楊琦,周禮譽