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10。工藝相關(guān)系統(tǒng)10.1 凈?；瑓^(qū)10 1 1.生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度等級(jí)應(yīng)符合下列要求,1，芯片生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)各潔凈區(qū)的空氣潔凈度等級(jí)應(yīng)根據(jù)芯片生產(chǎn)工藝及所使用的生產(chǎn)設(shè)備的要求確定.2,潔凈度等級(jí)的劃分應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn) 潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范、GB,50073的規(guī)定,3.潔凈區(qū)設(shè)計(jì)時(shí)，空氣潔凈度等級(jí)所處狀態(tài)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)條件確定、10。1,2，生產(chǎn)環(huán)境的溫度，相對(duì)濕度指標(biāo)應(yīng)按芯片生產(chǎn)工序分別制定，一般潔凈區(qū)溫度應(yīng)控制在22 0。5。22，2。相對(duì)濕度應(yīng)控制在43，3,45，10 10 1，3 潔凈區(qū)內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列最大值,1 補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需新鮮空氣量之和。2.保證供給潔凈區(qū)內(nèi)人員所需的新鮮空氣量,10.1、4.潔凈區(qū)與周?chē)目臻g應(yīng)按工藝要求,保持一定的正壓值,并應(yīng)符合下列規(guī)定。1。不同等級(jí)的潔凈區(qū)之間壓差不應(yīng)小于5Pa 2 潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間壓差不應(yīng)小于5Pa 3，潔凈區(qū)與室外的壓差不應(yīng)小于5Pa,10 1.5、氣流流型的設(shè)計(jì),應(yīng)符合下列要求，1。氣流流型應(yīng)滿足空氣潔凈度等級(jí)的要求,2.空氣潔凈度等級(jí)要求為1級(jí).4級(jí)時(shí)。應(yīng)采用垂直單向流.3，空氣潔凈度等級(jí)要求為5級(jí)時(shí)。宜采用垂直單向流。4,空氣潔凈度等級(jí)要求6級(jí)。9級(jí)時(shí)。宜采用非單向流 10、1。6。潔凈區(qū)的送風(fēng)量。應(yīng)取下列最大值，1、為保證空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量 2。消除潔凈區(qū)內(nèi)熱 濕負(fù)荷所需的送風(fēng)量,3 向潔凈區(qū)內(nèi)供給的新鮮空氣量，10。1，7.凈化系統(tǒng)的型式應(yīng)根據(jù)潔凈區(qū)面積，空氣潔凈度等級(jí)和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)確定 10。1、8、潔凈區(qū)的送風(fēng)宜采用下列方式、1.潔凈區(qū)面積較小,潔凈度等級(jí)較低且潔凈區(qū)可擴(kuò)展性不高時(shí) 宜采用集中送風(fēng)方式.2。潔凈區(qū)面積大,潔凈度等級(jí)較高時(shí)。宜采用風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組 FFU 送風(fēng),10,1.9,對(duì)于面積較大的潔凈廠房宜設(shè)置集中新風(fēng)處理系統(tǒng)。新風(fēng)處理系統(tǒng)送風(fēng)機(jī)應(yīng)采取變頻措施。10 1、10,對(duì)于有空氣分子污染控制要求的區(qū)域 可采取在新風(fēng)機(jī)組及該區(qū)域風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組上加裝化學(xué)過(guò)濾器的措施。10,1，11,干盤(pán)管的設(shè)置應(yīng)符合下列要求.1,應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝和潔凈區(qū)布局確定合理的安裝位置,2。應(yīng)根據(jù)處理風(fēng)量、室內(nèi)冷負(fù)荷 風(fēng)機(jī)過(guò)濾器特性確定干盤(pán)管迎風(fēng)面速度和結(jié)構(gòu)參數(shù)。3、應(yīng)采取保證進(jìn)入干盤(pán)管的冷凍水溫度高于潔凈區(qū)內(nèi)空氣露點(diǎn)溫度的措施.4.應(yīng)設(shè)置檢修排水設(shè)施,