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5，建筑與結(jié)構(gòu)5。1.建,筑5,1。2,對(duì)于規(guī)模較大 人員較多的工廠。采用連廊作為各建筑間人員聯(lián)系的通道可以有效地減少人員行走的距離 減少更衣,換鞋的時(shí)間以及外界環(huán)境的影響,連廊可根據(jù)氣候條件采用開(kāi)敞式或封閉式，連廊的高度不得影響廠區(qū)車(chē)輛通行。5,1 3 硅集成電路芯片廠房由于常年保持恒溫恒濕凈化的環(huán)境 如果氣密。保溫和隔熱的措施不到位.會(huì)增加工廠生產(chǎn)的能源消耗、防潮 防塵,耐久及易清洗也主要是滿足工廠凈化環(huán)境的要求,5，1、4,在凈化等系統(tǒng)的設(shè)備安裝以及工藝設(shè)備搬入初期。由于搬運(yùn)量較大、通常會(huì)采用吊裝的方式來(lái)搬運(yùn),此外,有些超重超寬的設(shè)備無(wú)法用電梯搬運(yùn)時(shí)、也需要采用吊裝的方式來(lái)搬運(yùn)、5，1.5 揮發(fā)性有機(jī)物 VOC,對(duì)于芯片生產(chǎn)的影響已越來(lái)越得到重視.特別是對(duì)于8英寸。12英寸集成電路芯片生產(chǎn)、VOC會(huì)直接影響光刻,氧化等工序的成品率 對(duì)于外界空氣中的VOC通常采用在新風(fēng)處理階段加裝化學(xué)過(guò)濾器的方式來(lái)降低VOC的影響，5,1，6，芯片生產(chǎn)所使用的設(shè)備昂貴。從安全角度考慮使用電梯是比較穩(wěn)妥的搬運(yùn)方式，對(duì)于8英寸芯片生產(chǎn)線設(shè)備的搬運(yùn)宜使用8t貨梯.12英寸芯片生產(chǎn)設(shè)備的搬運(yùn)宜使用10t貨梯