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- 硅集成電路芯片工廠設(shè)計規(guī)范 GB 50809-2012
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 工藝設(shè)計
- 4 總體設(shè)計
- 5 建筑與結(jié)構(gòu)
- 6 防 微 振
- 7 冷 熱 源
- 8 給排水及消防
- 9 電 氣
- 10 工藝相關(guān)系統(tǒng)
- 11 空間管理
- 12 環(huán)境安全衛(wèi)生
- 本規(guī)范用詞說明
- 引用標(biāo)準(zhǔn)名錄
- 條文說明
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- 氫氣站設(shè)計規(guī)范[附條文說明] GB 50177-2005
- 化工企業(yè)總圖運輸設(shè)計規(guī)范[附條文說明] GB 50489-2009
- 醫(yī)藥工業(yè)環(huán)境保護(hù)設(shè)計規(guī)范[附條文說明] GB 51133-2015
- 防盜安全門通用技術(shù)條件 GB 17565-2007
- 加氫站技術(shù)規(guī)范[附條文說明] GB 50516-2010（2021年版）
12、環(huán)境安全衛(wèi)生12 0。1,硅集成電路芯片工廠應(yīng)具有對環(huán)境、安全及衛(wèi)生進(jìn)行監(jiān)控的設(shè)施 12 0,2 8英寸，12英寸硅集成電路芯片工廠宜設(shè)置健康中心,并應(yīng)具備工傷急救及一般醫(yī)療,轉(zhuǎn)診及咨詢的設(shè)施 12、0，3，8英寸,12英寸硅集成電路芯片工廠宜在靠近生產(chǎn)區(qū)入口處設(shè)置專人全天職守的緊急應(yīng)變中心、ERC。并應(yīng)符合下列要求。1，應(yīng)制定緊急應(yīng)變程序 2,應(yīng)設(shè)置防災(zāi)及生命安全監(jiān)控系統(tǒng)。3,應(yīng)配備緊急應(yīng)變器材、