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8,給排水及消防8.1.一般規(guī)定8,1。1.硅集成電路芯片工廠的給排水系統(tǒng)通常包括一般生產(chǎn)給水系統(tǒng),主要用于就地洗滌塔給水,一般生活給水系統(tǒng),超純水系統(tǒng),工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)。生產(chǎn)廢水系統(tǒng).一般生活排水系統(tǒng),消防給水系統(tǒng)等,各個(gè)系統(tǒng)對(duì)水溫.水質(zhì)和水壓的要求都不一樣,因此應(yīng)根據(jù)安全合理 經(jīng)濟(jì)適用的要求分別設(shè)置系統(tǒng) 此外隨著國(guó)民經(jīng)濟(jì)的發(fā)展和城市生活水平的提高,我國(guó)很多地區(qū)特別在北方和某些沿海城市發(fā)生水資源短缺和污染問(wèn)題、水資源本身不足和水源的污染已成為我國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)發(fā)展的一個(gè)制約因素,因此很多地方實(shí)行水資源的統(tǒng)一規(guī)劃與管理,把用水問(wèn)題。特別是將節(jié)水工作納入社會(huì)經(jīng)濟(jì)發(fā)展規(guī)劃,建立與健全相應(yīng)的規(guī)章制度、認(rèn)真貫徹開源節(jié)流并重方針,加強(qiáng)節(jié)水的科學(xué)管理。集成電路芯片生產(chǎn)是消耗水資源較大的行業(yè)之一、水資源的合理使用和節(jié)水技術(shù)措施成了企業(yè)必須重點(diǎn)考慮的一個(gè)方面、這不僅關(guān)系到生產(chǎn)成本的降低 同時(shí)也是節(jié)約資源,實(shí)施經(jīng)濟(jì)可持續(xù)發(fā)展的重要戰(zhàn)略措施、企業(yè)還必須在項(xiàng)目建設(shè)過(guò)程中落實(shí)節(jié)水工程。節(jié)水設(shè)施建設(shè)的。三同時(shí)。四到位 要做到節(jié)約用水、通常需要對(duì)全廠的給排水系統(tǒng)進(jìn)行通盤考慮.在完成全廠水量平衡圖的基礎(chǔ)上,分析該類項(xiàng)目的用水特點(diǎn)。通過(guò)各用水系統(tǒng)用水量.水質(zhì)要求 節(jié)水措施及節(jié)水潛力進(jìn)行比較分析 提高節(jié)約用水和循環(huán)用水的水平。實(shí)現(xiàn)節(jié)水節(jié)能。減少排污.8 1.3,潔凈室的潔凈度是受控的、任何可能造成潔凈環(huán)境受到影響的動(dòng)作都應(yīng)有必要措施進(jìn)行控制,管道穿越潔凈室,其穿管處的處理就是關(guān)鍵一環(huán).總的說(shuō)來(lái)、穿越處采用套管方式是行之有效的.一方面它保證了潔凈室內(nèi)的正壓風(fēng)不會(huì)大量泄漏造成能量浪費(fèi),另一方面也杜絕了非潔凈空氣順著管道縫隙進(jìn)入潔凈空間,對(duì)于無(wú)法設(shè)置套管的部位,也應(yīng)該有必要的技術(shù)措施,8、1。4。潔凈室的溫度.濕度和壓力都是受控的.基本處于恒溫恒濕的狀態(tài),因此給排水管表面溫度高于潔凈室環(huán)境溫度時(shí),應(yīng)該進(jìn)行隔熱保溫處理。同時(shí),當(dāng)給排水管道表面溫度低于環(huán)境濕球溫度時(shí)、為避免由于管道表面結(jié)露影響潔凈環(huán)境的溫度、濕度和潔凈度、也應(yīng)該對(duì)管道進(jìn)行防結(jié)露保溫處理,對(duì)于在可能凍結(jié)區(qū)域架空敷設(shè)的給排水管道應(yīng)盡量避免死端、盲腸 袋狀管段,對(duì)于難以避免的袋狀管段,應(yīng)考慮設(shè)低點(diǎn)排液閥,對(duì)于難以避免的盲腸管段或設(shè)備間斷操作的管道 應(yīng)考慮保溫 伴熱等防凍措施,用于潔凈室內(nèi)給排水管道保溫需要的保溫材料應(yīng)確保保溫材料脫落的粉塵對(duì)環(huán)境的影響最小.
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