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10 6,大宗氣體10,6 1 大宗氣體供應系統(tǒng)宜在工廠內或鄰近處設置制氣裝置是為了便于輸送 外購液態(tài)氣儲罐或瓶裝氣體是目前許多工廠的實際狀況、10 6、2,硅集成電路芯片工廠用大宗氣體包括氮氣。氫氣，氧氣、氬氣 氦氣五種氣體、本條對大宗氣體的使用作了一般規(guī)定?？紤]到大宗氣體系統(tǒng)在工程完工。檢修后要對系統(tǒng)進行吹掃,同時考慮氫氣 氧氣的氣體特性 規(guī)定氫氣 氧氣管道的終端或最高點應設置放散管,放散管應引至室外并高出建筑的屋脊1m,氫氣放散管道上應設置阻火器 10。6.3。氣體純化裝置是保證氣體品質的重要設備，氣體氣源參數和使用參數是確定純化裝置的重要數據 同時純化裝置的布置既要考慮氣體的特性、又要便于操作 所以 規(guī)定氣體依據性質布置在一個或幾個房間內,但是.氫氣純化器因為氫氣的爆炸特性應布置在獨立的房間內，終端純化器靠近工藝設備是為了保證氣體的品質,10.6,4，為防止由于管道及閥門附件的油脂與管內氧氣因管道靜電導致的燃燒，規(guī)定氧氣管道及閥門附件應經嚴格的脫脂處理，氧氣管道應設置靜電泄放的接地設施是為了防止靜電產生,設置自動切斷閥是安全設計的要求 10、6。5，大宗氣體管道和閥門的選擇與工藝對氣體品質的要求關聯度較大 因此規(guī)定根據氣體的純度確定管道材料和閥門類型。同時規(guī)定氣體管道閥門.附件的材質宜與相連接的管道材質一致.10。6 6，根據大宗氣體的性質。規(guī)定管道連接除與設備或閥門連接采用卡套連接或閥門連接外.管道連接應采用焊接、考慮大宗氣體管道的高純性質 規(guī)定當采用軟管連接時。應采用金屬軟管、