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5.3 防火疏散5、3，1。硅集成電路芯片廠房的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類(lèi)應(yīng)為丙類(lèi)，耐火等級(jí)不應(yīng)低于二級(jí)。5、3，2.芯片生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)防火分區(qū)的劃分應(yīng)滿(mǎn)足工藝生產(chǎn)的要求 并應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范，GB。50472的規(guī)定。5、3.3，潔凈區(qū)的上技術(shù)夾層，下技術(shù)夾層和潔凈生產(chǎn)層.當(dāng)按其構(gòu)造特點(diǎn)和用途作為同一防火分區(qū)時(shí) 上。下技術(shù)夾層的面積可不計(jì)入防火分區(qū)的建筑面積 但應(yīng)分別采取相應(yīng)的消防措施,5.3.4.每一生產(chǎn)層.每個(gè)防火分區(qū)或每一潔凈區(qū)的安全出口設(shè)計(jì).應(yīng)符合下列規(guī)定，1 安全出口數(shù)量應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn) 潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范 GB,50073的相關(guān)規(guī)定.2 安全出口應(yīng)分散布置.并應(yīng)設(shè)有明顯的疏散標(biāo)志 3，安全疏散距離可根據(jù)生產(chǎn)工藝確定 但應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn) 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范 GB 50472的規(guī)定、