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1,總、則,本規(guī)范為硅集成電路芯片工廠設計的國家標準,適用于各種類型硅集成電路芯片工廠的新建 擴建和改建設計,由于硅集成電路芯片產(chǎn)品種類較多、技術(shù)發(fā)展迅速、為適應不同技術(shù)水平芯片生產(chǎn)對于環(huán)境的需要,本規(guī)范對于工藝,總體,建筑與結(jié)構(gòu)、防微振、冷熱源,給排水與消防、電氣.工藝相關(guān)系統(tǒng),空間管理和環(huán)境安全衛(wèi)生等方面制定工程設計中應遵循的相關(guān)規(guī)定,確保工程設計做到安全適用,技術(shù)先進,經(jīng)濟合理,環(huán)境友好。
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