"大量文字復(fù)制"等功能僅限VIP會(huì)員使用，您可以選擇以下方式解決：
1、選擇少量文本，重新進(jìn)行復(fù)制操作
2、開通VIP，享受下載海量資源、文字任意復(fù)制等特權(quán)
- 硅集成電路芯片工廠設(shè)計(jì)規(guī)范 GB 50809-2012
- 條文說明
- 1 總 則
- 3 工藝設(shè)計(jì)
- 4 總體設(shè)計(jì)
- 5 建筑與結(jié)構(gòu)
- 6 防 微 振
- 7 冷 熱 源
- 8 給排水及消防
- 9 電 氣
- 10 工藝相關(guān)系統(tǒng)
- 11 空間管理
- 12 環(huán)境安全衛(wèi)生
熱門資源
更多>
- 數(shù)據(jù)中心設(shè)計(jì)規(guī)范[附條文說明] GB 50174-2017
- 冷庫設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)[附條文說明] GB 50072-2021
- 住宅室內(nèi)防水工程技術(shù)規(guī)范[附條文說明] JGJ 298-2013
- 建筑工程設(shè)計(jì)文件編制深度規(guī)定 2016年
- 既有建筑鑒定與加固通用規(guī)范[附條文說明] GB 55021-2021
- 冷庫設(shè)計(jì)規(guī)范[附條文說明] GB 50072-2010
- 商店建筑設(shè)計(jì)規(guī)范[附條文說明] JGJ 48-2014
- 綜合醫(yī)院建筑設(shè)計(jì)規(guī)范[附條文說明] GB 51039-2014
- 汽車加油加氣加氫站技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)[附條文說明] GB 50156-2021
- 防盜安全門通用技術(shù)條件 GB 17565-2007
11、空間管理11 0 1，硅集成電路芯片工廠室外管線通常包括冷熱水管,蒸汽、大宗氣體等,根據(jù)管線的特性及當(dāng)?shù)氐淖匀粭l件,可采用架空敷設(shè),埋地或管溝敷設(shè)等方式,在目前大多數(shù)的集成電路芯片工廠都采用在公共管橋上架空敷設(shè)方式.主要是基于成本和維護(hù)管理以及今后擴(kuò)展的便利性方面的考慮。11,0，3。11,0,6.上技術(shù)夾層不宜敷設(shè)水管及其他液體輸送管道 主要為避免管道漏損后,對(duì)下方的凈化間及工藝設(shè)備造成較大的損失.在上技術(shù)夾層確定管道敷設(shè)時(shí) 首先考慮FFU自身的高度以及吸入空氣所需的空間.此高度上再考慮排風(fēng)管道以及大宗氣體及特種氣體等管道高度，由于上技術(shù)夾層通常為金屬壁板、承載有限 同時(shí)各種吊架較多、如果沒有專門的檢修通道.日常巡檢和維護(hù)會(huì)較為困難 11.0 7。目前產(chǎn)能較大的6英寸 8英寸及12英寸硅集成電路芯片工廠由于生產(chǎn)輔助設(shè)備布置在下技術(shù)夾層 主要管線也布置在下技術(shù)夾層、在下技術(shù)夾層的空間管理中首先考慮輔助設(shè)備搬運(yùn)和操作的高度范圍 之上按高度分別劃分為主管、支管以及二次配管和消防噴淋管道的范圍 在設(shè)計(jì)中可以遵循此原則來規(guī)劃各系統(tǒng)的管線走向和標(biāo)高 11、0。8。硅集成電路芯片廠房內(nèi)的管道種類繁多，十分密集.如各自獨(dú)立設(shè)置的吊桿和支架、會(huì)造成空間吊桿密集,嚴(yán)重影響管道的通行,因此在主要管道通行的區(qū)域、宜集中布置公共管架.支 吊架水平間距應(yīng)根據(jù)所有管線最小間距及材料成本統(tǒng)一考慮.