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- 硅集成電路芯片工廠設(shè)計(jì)規(guī)范 GB 50809-2012
- 條文說(shuō)明
- 1 總 則
- 3 工藝設(shè)計(jì)
- 4 總體設(shè)計(jì)
- 5 建筑與結(jié)構(gòu)
- 6 防 微 振
- 7 冷 熱 源
- 8 給排水及消防
- 8.1 一般規(guī)定
- 8.2 給 排 水
- 8.3 消 防
- 8.4 滅 火 器
- 9 電 氣
- 10 工藝相關(guān)系統(tǒng)
- 11 空間管理
- 12 環(huán)境安全衛(wèi)生
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8、2、給、排 水8，2、4.硅集成電路芯片生產(chǎn)工藝復(fù)雜。加工精度高、大多數(shù)工序都要使用超純水清洗硅片、水資源消耗量較高,雖然城市自來(lái)水作為芯片工廠水源已經(jīng)很安全、為了保證用水更安全 很多企業(yè)都加大了水回用的力度 同時(shí)在可能的情況下還自備水源,如地下水,所以無(wú)論回用水還是自備水源水質(zhì)是否優(yōu)于城市自來(lái)水水質(zhì)。均不得用管道直接連接在城市自來(lái)水管上,即使加裝倒流防止器也不允許、這也是國(guó)際上通行的規(guī)定、本條為強(qiáng)制性條文.必須嚴(yán)格執(zhí)行 8、2。8、由于管道法蘭處容易泄漏.所以輸送有毒，有害、腐蝕性介質(zhì)的管道、不得在人行通道和機(jī)泵上方設(shè)置法蘭 以免法蘭滲漏時(shí)介質(zhì)落于人體上而發(fā)生工傷事故，如果在管道與法蘭連接的設(shè)備 閥門，特殊管件連接處必須采用法蘭連接時(shí),連接法蘭處應(yīng)采取有效的防護(hù)措施、8 2、10，8。2、11 硅集成電路芯片廠房根據(jù)生產(chǎn)需要。通常使用較多的化學(xué)藥品 這些化學(xué)藥品性質(zhì)各不相同，分別表現(xiàn)為可燃.易燃 自燃.有毒、腐蝕或氧化性。針對(duì)不同化學(xué)特性，這些化學(xué)品通常都應(yīng)分門別類儲(chǔ)存.同時(shí)不得和禁忌物品混合儲(chǔ)存、作為貯存和配送化學(xué)藥劑的房間、必須要有可靠的排水措施將泄漏的化學(xué)藥劑和消防排水有組織收集并臨時(shí)貯存，避免因?yàn)榛瘜W(xué)藥劑和被化學(xué)藥劑污染的消防排水因無(wú)組織四處漫流而導(dǎo)致人員傷害和環(huán)境污染,就地通過(guò)地溝等設(shè)施貯存泄漏的化學(xué)藥劑和消防排水是一種常見(jiàn)的簡(jiǎn)單易行的技術(shù)措施