3、2.技術(shù)選擇3.2 1 硅集成電路產(chǎn)品分為數(shù)字電路和模擬電路兩大類.數(shù)字電路包括存儲器。微處理器和邏輯電路.模擬電路主要包括標(biāo)準(zhǔn)模擬電路和特殊模擬電路.產(chǎn)品的品種和技術(shù)要求不同產(chǎn)生不同的生產(chǎn)工藝。從線寬來區(qū)分從較早的5μm到最新的20nm工藝.從加工硅片直徑來區(qū)分從3英寸。4英寸,5英寸,6英寸,8英寸、12英寸以及今后的18英寸,工程投資金額存在數(shù)千萬元至近百億美元的巨大差異。凈化區(qū)面積也從數(shù)百平方米到最新的數(shù)萬平方米不等,因此選擇適合的工藝技術(shù)及配套設(shè)備是工廠設(shè)計的基礎(chǔ)。表1是ITRS公布的2011年國際半導(dǎo)體技術(shù)藍圖的預(yù)測。集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展更新依然十分迅速。3,2 2,對于品種多,產(chǎn)量較少 更新較慢的模擬類產(chǎn)品以及對線寬要求不高的部分?jǐn)?shù)字類產(chǎn)品。宜采用4英寸.6英寸芯片生產(chǎn)設(shè)備進行加工、可節(jié)省項目投資、降低成本。表1,2011年國際半導(dǎo)體技術(shù)藍圖3,2。3,對于產(chǎn)量較大的模擬類產(chǎn)品和數(shù)字類嚴(yán)品。可采用8英寸芯片生產(chǎn)設(shè)備進行加工 可做到規(guī)模生產(chǎn)以降低成本,3,2 4,對于主流存儲器 微處理器以及邏輯電路等產(chǎn)品.由于產(chǎn)品的產(chǎn)量較大.技術(shù)更新快,通常采用最新的12英寸芯片生產(chǎn)設(shè)備進行加工。同時也能滿足產(chǎn)品對與線寬的要求、