"大量文字復制"等功能僅限VIP會員使用，您可以選擇以下方式解決：
1、選擇少量文本，重新進行復制操作
2、開通VIP，享受下載海量資源、文字任意復制等特權
- 硅集成電路芯片工廠設計規(guī)范 GB 50809-2012
- 條文說明
- 1 總 則
- 3 工藝設計
- 4 總體設計
- 5 建筑與結構
- 6 防 微 振
- 7 冷 熱 源
- 8 給排水及消防
- 9 電 氣
- 10 工藝相關系統(tǒng)
- 10.1 凈 化 區(qū)
- 10.2 工藝排風
- 10.3 純 水
- 10.4 廢 水
- 10.5 工藝循環(huán)冷卻水
- 10.6 大宗氣體
- 10.7 干燥壓縮空氣
- 10.9 特種氣體
- 10.10 化 學 品
- 11 空間管理
- 12 環(huán)境安全衛(wèi)生
熱門資源
更多>
- 綜合醫(yī)院建筑設計規(guī)范[附條文說明] GB 51039-2014
- 城市消防站設計規(guī)范[附條文說明] GB 51054-2014
- 辦公建筑設計標準[附條文說明] JGJ/T 67-2019
- 中小學校設計規(guī)范[附條文說明] GB 50099-2011
- 泵站設計規(guī)范[附條文說明] GB 50265-2010
- 宿舍、旅館建筑項目規(guī)范[附條文說明] GB 55025-2022
- 鍋爐房設計標準[附條文說明] GB 50041-2020
- 防盜安全門通用技術條件 GB 17565-2007
- 公共建筑節(jié)能設計標準[附條文說明] GB 50189-2015
- 安全防范工程通用規(guī)范[附條文說明] GB 55029-2022
10。7 干燥壓縮空氣10,7、1，干燥壓縮空氣系統(tǒng)的設計必須考慮供氣量，供氣品質(zhì)和壓縮空氣系統(tǒng)的損耗、從產(chǎn)品的工藝要求考慮,硅集成電路芯片工廠應該選用無油潤滑空氣壓縮機，10 7、3，工程實踐表明 當干燥壓縮空氣輸送露點低于，76 時。采用內(nèi)壁電拋光不銹鋼管。當干燥樂縮空氣輸送露點低于 40、時，采用不銹鋼管或鍍鋅碳鋼管是較為經(jīng)濟合理的選擇、10，7，4，工程實踐表明.干燥壓縮空氣輸送露點低于.40。時、用于管道連接的密封材料宜選用金屬墊片或聚四氟乙烯墊片，