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10.3 純 水10 3 1、硅集成電路芯片工廠純水系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求，合理確定純水制備系統(tǒng)的規(guī)模、供水水質(zhì)，10 3.2。純水的制備 儲存和輸送的設(shè)備和材料 除應(yīng)滿足所需水量和水質(zhì)要求外,尚應(yīng)符合下列規(guī)定，1,純水的制備、儲存和輸送設(shè)備的配置應(yīng)確保系統(tǒng)滿足運行安全可靠，技術(shù)先進(jìn).經(jīng)濟(jì)適用.便于操作維護(hù)等要求,2，純水的制備、儲存和輸送設(shè)備材料的選擇應(yīng)與其接觸的水質(zhì)相匹配 設(shè)備內(nèi)表面應(yīng)滿足光潔。平整等物理性能.同時應(yīng)化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定,耐腐蝕.易清洗。10.3.3、純水系統(tǒng)應(yīng)采用循環(huán)供水方式。純水輸配系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)水質(zhì)、水量，用水點數(shù)量。管道材質(zhì)以及使用點對水壓穩(wěn)定性等要求確定.可選擇采用單管式循環(huán)供水系統(tǒng)。直接回水的循環(huán)供水系統(tǒng)或逆向回水的循環(huán)供水系統(tǒng),并應(yīng)符合下列規(guī)定,1 純水輸配系統(tǒng)的附加循環(huán)水量宜為額定耗用水量的25、50、2、純水管道流速的選擇應(yīng)能有效地防止水質(zhì)降低和微生物的滋生。并應(yīng)兼顧壓力損失。供 回水管流速分別不宜低于1、5m.s和0。5m s，3。純水輸配管路系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)系統(tǒng)運行維護(hù)的需要設(shè)置必要的采樣口、4，工藝設(shè)備二次配管.且截止閥離設(shè)備較遠(yuǎn)時,宜安裝回水管 10、3。4。用于純水系統(tǒng)的水質(zhì)檢測設(shè)備及儀表,其安裝不應(yīng)使純水水質(zhì)降低。其檢測范圍和精度應(yīng)符合純水生產(chǎn)和檢驗的要求，10,3，5.純水精處理或終端處理裝置宜靠近主要用水工藝設(shè)備設(shè)置,10、3。6，純水系統(tǒng)管道材質(zhì)的選用.應(yīng)符合下列要求。1，應(yīng)滿足純水水質(zhì)指標(biāo)的要求、2。材料的化學(xué)穩(wěn)定性應(yīng)高.3,管道物理性能應(yīng)好、內(nèi)壁光潔度應(yīng)高 4、不得有滲氣現(xiàn)象，10 3,7、純水管道的閥門和附件的選用應(yīng)符合下列規(guī)定。1.應(yīng)選擇與管道相同的材質(zhì).2。應(yīng)選用密封好、結(jié)構(gòu)合理,無滲氣現(xiàn)象的閥門.10，3 8、純水廢水回收設(shè)計應(yīng)與硅集成電路芯片生產(chǎn)工藝設(shè)計密切配合、并應(yīng)根據(jù)工程實際情況.回收水質(zhì)，水量、結(jié)合當(dāng)前的技術(shù)、經(jīng)濟(jì)條件等合理確定回收率、10、3,9，回收水處理系統(tǒng)流程的擬定和設(shè)備的選擇、應(yīng)根據(jù)工程的具體情況?；厥账|(zhì)。水量以及處理后的用途等因素綜合確定、當(dāng)不能取得回收水水質(zhì)資料時,可按已建同類工程經(jīng)驗或科學(xué)實驗確定,