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10.3.純 水10。3。1，硅集成電路芯片工廠純水系統(tǒng)設計應根據(jù)生產工藝要求 合理確定純水制備系統(tǒng)的規(guī)模、供水水質,10，3，2，純水的制備，儲存和輸送的設備和材料 除應滿足所需水量和水質要求外 尚應符合下列規(guī)定，1。純水的制備、儲存和輸送設備的配置應確保系統(tǒng)滿足運行安全可靠,技術先進，經(jīng)濟適用，便于操作維護等要求.2 純水的制備 儲存和輸送設備材料的選擇應與其接觸的水質相匹配。設備內表面應滿足光潔,平整等物理性能,同時應化學性質穩(wěn)定 耐腐蝕,易清洗。10.3 3 純水系統(tǒng)應采用循環(huán)供水方式.純水輸配系統(tǒng)應根據(jù)水質。水量.用水點數(shù)量、管道材質以及使用點對水壓穩(wěn)定性等要求確定.可選擇采用單管式循環(huán)供水系統(tǒng),直接回水的循環(huán)供水系統(tǒng)或逆向回水的循環(huán)供水系統(tǒng)，并應符合下列規(guī)定。1。純水輸配系統(tǒng)的附加循環(huán)水量宜為額定耗用水量的25.50,2。純水管道流速的選擇應能有效地防止水質降低和微生物的滋生、并應兼顧壓力損失 供。回水管流速分別不宜低于1、5m,s和0。5m s,3，純水輸配管路系統(tǒng)應根據(jù)系統(tǒng)運行維護的需要設置必要的采樣口,4,工藝設備二次配管、且截止閥離設備較遠時,宜安裝回水管,10。3，4,用于純水系統(tǒng)的水質檢測設備及儀表.其安裝不應使純水水質降低 其檢測范圍和精度應符合純水生產和檢驗的要求、10，3，5、純水精處理或終端處理裝置宜靠近主要用水工藝設備設置、10。3、6、純水系統(tǒng)管道材質的選用.應符合下列要求、1。應滿足純水水質指標的要求。2,材料的化學穩(wěn)定性應高 3.管道物理性能應好.內壁光潔度應高,4 不得有滲氣現(xiàn)象,10 3 7、純水管道的閥門和附件的選用應符合下列規(guī)定 1.應選擇與管道相同的材質，2,應選用密封好、結構合理.無滲氣現(xiàn)象的閥門，10、3,8,純水廢水回收設計應與硅集成電路芯片生產工藝設計密切配合.并應根據(jù)工程實際情況、回收水質。水量、結合當前的技術。經(jīng)濟條件等合理確定回收率。10，3，9，回收水處理系統(tǒng)流程的擬定和設備的選擇.應根據(jù)工程的具體情況?；厥账|。水量以及處理后的用途等因素綜合確定。當不能取得回收水水質資料時 可按已建同類工程經(jīng)驗或科學實驗確定,