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10。3 純 水10、3、1,硅集成電路芯片工廠純水系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求，合理確定純水制備系統(tǒng)的規(guī)模，供水水質(zhì)。10.3,2。純水的制備、儲(chǔ)存和輸送的設(shè)備和材料.除應(yīng)滿足所需水量和水質(zhì)要求外。尚應(yīng)符合下列規(guī)定.1。純水的制備,儲(chǔ)存和輸送設(shè)備的配置應(yīng)確保系統(tǒng)滿足運(yùn)行安全可靠。技術(shù)先進(jìn)、經(jīng)濟(jì)適用，便于操作維護(hù)等要求.2，純水的制備,儲(chǔ)存和輸送設(shè)備材料的選擇應(yīng)與其接觸的水質(zhì)相匹配，設(shè)備內(nèi)表面應(yīng)滿足光潔、平整等物理性能.同時(shí)應(yīng)化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定、耐腐蝕,易清洗，10、3,3.純水系統(tǒng)應(yīng)采用循環(huán)供水方式 純水輸配系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)水質(zhì),水量。用水點(diǎn)數(shù)量 管道材質(zhì)以及使用點(diǎn)對(duì)水壓穩(wěn)定性等要求確定，可選擇采用單管式循環(huán)供水系統(tǒng)、直接回水的循環(huán)供水系統(tǒng)或逆向回水的循環(huán)供水系統(tǒng).并應(yīng)符合下列規(guī)定，1，純水輸配系統(tǒng)的附加循環(huán)水量宜為額定耗用水量的25.50.2.純水管道流速的選擇應(yīng)能有效地防止水質(zhì)降低和微生物的滋生、并應(yīng)兼顧壓力損失。供。回水管流速分別不宜低于1 5m s和0。5m。s。3.純水輸配管路系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)系統(tǒng)運(yùn)行維護(hù)的需要設(shè)置必要的采樣口,4、工藝設(shè)備二次配管，且截止閥離設(shè)備較遠(yuǎn)時(shí)、宜安裝回水管，10,3.4、用于純水系統(tǒng)的水質(zhì)檢測(cè)設(shè)備及儀表。其安裝不應(yīng)使純水水質(zhì)降低、其檢測(cè)范圍和精度應(yīng)符合純水生產(chǎn)和檢驗(yàn)的要求、10,3.5 純水精處理或終端處理裝置宜靠近主要用水工藝設(shè)備設(shè)置.10,3、6 純水系統(tǒng)管道材質(zhì)的選用，應(yīng)符合下列要求.1。應(yīng)滿足純水水質(zhì)指標(biāo)的要求 2 材料的化學(xué)穩(wěn)定性應(yīng)高 3，管道物理性能應(yīng)好.內(nèi)壁光潔度應(yīng)高.4，不得有滲氣現(xiàn)象、10,3,7，純水管道的閥門和附件的選用應(yīng)符合下列規(guī)定 1,應(yīng)選擇與管道相同的材質(zhì)、2。應(yīng)選用密封好 結(jié)構(gòu)合理,無(wú)滲氣現(xiàn)象的閥門 10、3,8、純水廢水回收設(shè)計(jì)應(yīng)與硅集成電路芯片生產(chǎn)工藝設(shè)計(jì)密切配合,并應(yīng)根據(jù)工程實(shí)際情況、回收水質(zhì) 水量.結(jié)合當(dāng)前的技術(shù),經(jīng)濟(jì)條件等合理確定回收率。10.3 9?；厥账幚硐到y(tǒng)流程的擬定和設(shè)備的選擇。應(yīng)根據(jù)工程的具體情況 回收水水質(zhì)、水量以及處理后的用途等因素綜合確定。當(dāng)不能取得回收水水質(zhì)資料時(shí),可按已建同類工程經(jīng)驗(yàn)或科學(xué)實(shí)驗(yàn)確定、