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6，防、微、振6、1。一般規(guī)定6、1,1。集成電路芯片廠房的微振控制歸根結(jié)底是在生產(chǎn)區(qū)樓面提供一個滿足振動敏感設(shè)備安裝要求的微振動環(huán)境。所以微振控制要求是由生產(chǎn)工藝及所選設(shè)備決定的，在集成電路芯片生產(chǎn)中.對微振有較高要求的通常為光刻設(shè)備以及掃描電子顯微鏡.其容許振動值的物理量表達(dá)通常有振幅，μm、振動速度,mm，s、以及振動加速度.mm。s2。這三種物理量可以通過公式換算，在國際上通常以通用振動標(biāo)準(zhǔn)曲線VC進(jìn)行定義,如圖3所示。VC曲線是指一組表示在一定頻率范圍內(nèi)振動幅值，用速度表征 的曲線.按振動速度從高到低依次為VC A VC、B。VC,G 有關(guān)VC曲線的定義 場地和樓面微振動的測試，數(shù)據(jù)采集。處理和報告,可參考美國環(huán)境科學(xué)與技術(shù)協(xié)會。IEST.的有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、表2.圖3.通用振動標(biāo)準(zhǔn)曲線VC6 1.2。6，1、3，交通運輸設(shè)施對建設(shè)場地的微振動水平有重要影響.當(dāng)場地的微振動超過擬建廠房生產(chǎn)工藝的要求時.依靠結(jié)構(gòu)措施抑制廠房結(jié)構(gòu)的振動響應(yīng)需付出高昂代價且具有較大技術(shù)風(fēng)險。因此，調(diào)查交通設(shè)施.如碼頭，火車,高鐵 城鐵。鄰近的飛機場等.對所選場地的影響。評價場地是否適宜建設(shè)微振敏感廠房是必須進(jìn)行的前期工作、規(guī)劃中的交通設(shè)施或振動較大的廠房.如建造新廠房 道路變化。新增城鐵及地鐵等.對場地的振動影響由于尚未實施而難于評價,對集成電路芯片廠的正常運行具有潛在威脅，因而了解擬建場地周邊的遠(yuǎn)景規(guī)劃也是重要的前期工作.表2.振動標(biāo)準(zhǔn)曲線VC的應(yīng)用及解釋6 1.5,場地的測試和評價是指在建設(shè)開始前,對擬建場地的微振基本情況進(jìn)行測試。作為設(shè)計的基礎(chǔ)、結(jié)構(gòu)完工時的測試和評價主要為驗證施工完的結(jié)構(gòu)體是否符合防微振設(shè)計的要求.竣工時的測試和評價是指在建筑完工、潔凈室安裝完成，機電設(shè)備就位且運行.潔凈室空調(diào)系統(tǒng)平穩(wěn)運行,但工藝設(shè)備以及工藝支持系統(tǒng)尚未安裝的情況下進(jìn)行的測試和評價,可最終確定環(huán)境是否滿足設(shè)備防微振的要求。這個階段的測試有時也由工藝設(shè)備提供商負(fù)責(zé)。用于確定生產(chǎn)環(huán)境的微振影響是否能保證設(shè)備正常工作。