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- 硅集成電路芯片工廠設(shè)計規(guī)范 GB 50809-2012
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 工藝設(shè)計
- 4 總體設(shè)計
- 5 建筑與結(jié)構(gòu)
- 6 防 微 振
- 7 冷 熱 源
- 8 給排水及消防
- 9 電 氣
- 10 工藝相關(guān)系統(tǒng)
- 11 空間管理
- 12 環(huán)境安全衛(wèi)生
- 本規(guī)范用詞說明
- 引用標準名錄
- 條文說明
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- 酒廠設(shè)計防火規(guī)范[附條文說明] GB 50694-2011
- 宿舍、旅館建筑項目規(guī)范[附條文說明] GB 55025-2022
- 體育建筑設(shè)計規(guī)范[附條文說明] JGJ 31-2003
- 糧食平房倉設(shè)計規(guī)范[附條文說明] GB 50320-2014
- 建筑鋼結(jié)構(gòu)防火技術(shù)規(guī)范[附條文說明] GB 51249-2017
- 農(nóng)村防火規(guī)范[附條文說明] GB 50039-2010
- 住宅項目規(guī)范（征求意見稿） GB 55XXX-2022
2 術(shù),語2、0,1.硅片.wafer從拉伸長出的高純度單晶硅的晶錠經(jīng)滾圓.切片及拋光等工序加工后所形成的硅單晶薄片。2 0 2.線寬、critical，dimension為所加工的集成電路電路圖形中最小線條寬度 也稱為特征尺寸 2 0 3,潔凈室，clean,room空氣懸浮粒子濃度受控的房間。2.0 4。空氣分子污染、airborne,molecular,contaminant空氣中所含的對集成電路芯片制造產(chǎn)生有害影響的分子污染物，2，0,5。標準機械接口、standard，mechanical。interface適用于不同生產(chǎn)設(shè)備的一種通用型接口裝置.可將硅片自動載入設(shè)備,并在加工結(jié)束后將硅片送出。同時保護硅片不受外界環(huán)境污染、2。0.6 港灣式布置、bay、and，chase生產(chǎn)工藝設(shè)備按不同的潔凈等級進行布置.并以隔墻分隔生產(chǎn)區(qū)和維修區(qū) 2、0,7,大空間式布置 ball，room生產(chǎn)工藝設(shè)備布置在同一個區(qū)域,全區(qū)采用同一潔凈等級、未劃分生產(chǎn)區(qū)和維修區(qū)、2.0。8,自動物料處理系統(tǒng).automatic。material.handling.system,AMHS 在硅集成電路芯片工廠內(nèi)部將硅片和掩模板在不同的工藝設(shè)備或不同的存儲區(qū)域之間進行傳輸、存儲和分發(fā)的自動化系統(tǒng).2 0，9。純水，pure water根據(jù)生產(chǎn)需要.去除生產(chǎn)所不希望保留的各種離子以及其他雜質(zhì)的水,2、0 10,緊急應(yīng)變中心.emergency、response，center內(nèi)設(shè)各種安全報警系統(tǒng)和救災(zāi)設(shè)備的安全值班室、為24h事故處理中心和指揮中心