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- 硅集成電路芯片工廠設計規(guī)范 GB 50809-2012
- 條文說明
- 1 總 則
- 3 工藝設計
- 4 總體設計
- 5 建筑與結構
- 6 防 微 振
- 7 冷 熱 源
- 8 給排水及消防
- 9 電 氣
- 9.1 供 配 電
- 9.2 照 明
- 9.5 通信與安全保護
- 10 工藝相關系統
- 11 空間管理
- 12 環(huán)境安全衛(wèi)生
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- 綠色建筑評價標準[附條文說明] GB/T 50378-2019
- 冷庫設計標準[附條文說明] GB 50072-2021
9.2,照,明9,2、1。凈化生產區(qū)照明的照度值宜為500lx 光刻區(qū)的照度值宜為600lx、輔助設備區(qū)的照度宜為300lx，實驗室的照度值宜為600lx.輔助工作室，人員凈化和物料凈化用室,氣閘室、走廊等照明的照度值宜為200lx,300lx 9.2.5、光刻區(qū)照明使用黃光.由于波長較長，能量較低，不會影響到感光膠。外界照明光線是白光 含有多種波長的組合，其短波長的成分足以使感光膠曝光